[实用新型]一种抗变形的单晶石英坩埚

权利要求书

1.一种抗变形的单晶石英坩埚，包括埚体(1)，所述埚体(1)包括埚壁(101)和埚底(102)，其特征在于：还包括加固壳(2)；

所述埚壁(101)上部设有第一加固部(103)，所述埚底(102)与埚壁(101)连接处设有第二加固部(104)；

所述加固壳(2)由一组结构特征相同的半壳体(201)组成，所述半壳体(201)包括壳壁(202)和壳底(203)；

所述壳壁(202)为半圆形结构，所述壳壁(202)上部设有第一定位沿(204)，所述第一定位沿(204)与第一加固部(103)间隙配合，所述壳壁(202)与壳底(203)之间设有第二定位沿(205)，所述第二定位沿(205)与第二加固部(104)间隙配合；

所述壳壁(202)两侧的外侧均固定有法兰支耳(206)，两所述半壳体(201)通过法兰支耳(206)和螺钉相互固定，两所述半壳体(201)形成固定腔，所述埚体(1)设置在固定腔内且与固定腔间隙配合。

2.根据权利要求1所述的一种抗变形的单晶石英坩埚，其特征在于，所述第一加固部(103)的横截面为直角梯形结构，所述第一加固部(103)的倾斜部朝向锅底，所述第一加固部(103)顶部与埚壁(101)顶部平齐。

3.根据权利要求1所述的一种抗变形的单晶石英坩埚，其特征在于，所述第二加固部(104)顶部和底部均为倾斜部，所述第二加固部(104)的厚度与第一加固部(103)的厚度相同，所述第一加固部(103)的厚度为埚壁(101)厚度的1-1.5倍。

4.根据权利要求1所述的一种抗变形的单晶石英坩埚，其特征在于，所述壳底(203)顶面设有弧形槽(207)，所述埚底(102)与弧形槽(207)内壁接触且相互贴合。

5.根据权利要求1所述的一种抗变形的单晶石英坩埚，其特征在于，所述壳壁(202)内径与埚壁(101)外径相同，所述壳壁(202)外表面与埚壁(101)内壁接触且相互贴合。