[实用新型]时间参数校准系统

说明书

本申请涉及一种时间参数校准系统，用于校准数字测试系统的多个数字测试通道。其中，时间参数校准系统包括：示波器和时间参数校准模块；时间参数校准模块包括多个校准通道，用于通过多个校准通道输出相同波形；多个校准通道经由多条走线与多个数字测试通道一一对应地连接，多条走线中每条走线上设置有测试点；示波器包括第一测试探头和第二测试探头，第一测试探头与多条走线中一条走线上的测试点连接，第二测试探头用于分别与多条走线中每条走线上的测试点连接，以测量校准通道的路径延时信息。通过本申请，解决了由时间参数校准系统校准的数字测试系统的时间参数测试精度低的问题，能够提高数字测试系统的时间参数测试精度。

技术领域

本申请涉及测试领域，特别是涉及时间参数校准系统。

背景技术

数字测试系统通过数字测试通道对待测芯片进行测试，由于待测芯片的规模不断增大，工作频率不断提升，因此对于数字测试系统的数字测试通道数量和数字测试通道的时间参数精度提出了越来越高的要求。当前基于本平台的数字测试系统，数字通道数量达到1024个，要求边沿时间参数精度±100皮秒。

要实现上千个数字通道的同步，在相关技术中通过一块专用校准PCB板，通过PCB板上高频继电器切换最终接到高频示波器上，自动计算出每个通道的偏差，再通过软件补偿方法实现所有通道的时间参数高精度校准。然而，通过继电器切换的方案，虽然可以实现自动化校准，但要实现皮秒级的时间参数校准，所使用的高频继电器成本高，重复性差。并且，该方案无法对校准班上的校准通道的走线延时进行校准，而是要求校准板上的每个校准通道的PCB走线等长设计，上千个校准通道的等长设计，极大地提高了设计和加工成本。并且PCB板加工过程中，也会有走线不均衡性，难以做到每个校准通道完全等长，性能一致。校准板的校准通道性能的差异，导致由该校准板校准的数字测试系统的时间参数测试精度低。

实用新型内容

本申请实施例提供了一种时间参数校准系统，以至少解决相关技术中由时间参数校准系统校准的数字测试系统的时间参数测试精度低的问题。

第一方面，本申请实施例提供了一种时间参数校准系统，用于校准数字测试系统的多个数字测试通道，所述时间参数校准系统包括：示波器和时间参数校准模块；所述时间参数校准模块包括多个校准通道，用于通过多个所述校准通道输出相同波形；多个所述校准通道经由多条走线与多个所述数字测试通道一一对应地连接，所述多条走线中每条走线上设置有测试点；所述示波器包括第一测试探头和第二测试探头，所述第一测试探头与所述多条走线中一条走线上的测试点连接，所述第二测试探头用于分别与所述多条走线中每条走线上的测试点连接，以测量所述校准通道的路径延时信息。

在其中一些实施例中，所述时间参数校准系统还包括：机械手模块；所述第二测试探头搭载于所述机械手模块，所述机械手模块用于将所述第二测试探头分别与所述多条走线中每条走线上的测试点连接，以供所述示波器测量所述校准通道的路径延时信息。

在其中一些实施例中，所述时间参数校准系统还包括多个弹簧顶针连接器以及用于连接所述弹簧顶针连接器的转接板，其中，多个所述弹簧顶针连接器分别设置在每个所述测试点上；所述转接板搭载于所述机械手模块，并与所述第二测试探头连接。

在其中一些实施例中，所述时间参数校准系统还包括：第一存储模块，用于存储所述校准通道的路径延时信息。

在其中一些实施例中，所述时间参数校准系统包括多个所述时间参数校准模块；多个所述时间参数校准模块能够输出相同波形。

在其中一些实施例中，所述时间参数校准系统还包括参考时钟发生器，多个所述时间参数校准模块分别与所述参考时钟发生器连接。

在其中一些实施例中，所述数字测试系统包括波形发生器，所述波形发生器用于在多个所述数字测试通道输出相同波形；所述时间参数校准模块，还用于在所述数字测试系统在多个所述数字测试通道输出相同波形的情况下，根据所述校准通道接收到波形和所述校准通道的路径延时信息，确定所述数字测试系统的每个所述数字测试通道的路径延时信息。