[实用新型]一种基板进料低噪吸尘装置

权利要求书

1.一种基板进料低噪吸尘装置，包括吸尘箱、软管、低噪箱以及安装在低噪箱内的吸附箱和抽风机，其特征在于：

所述吸尘箱固定在加电检测的进料口，下端设有与进料的基板通道连通的U形孔，对基板外表面及通道内环境中的灰尘颗粒进行吸附，侧面设有抽风口，并与软管密闭连通，

所述软管另一端与低噪箱内的吸附箱上端设有的吸附管连通，

所述吸附箱上端四角设有抽气口，并通过弯管与组合管密闭连通，组合管再与抽风机密闭连通，使得同侧的两个抽风口由一个抽风机同时抽气，

所述抽风机的排气口与低噪箱侧壁的排风口之间设有消音管，所述消音管内装填有隔音材质制成的消音网栅。

2.根据权利要求1所述的基板进料低噪吸尘装置，其特征在于：所述吸附箱底部设有唯一的添液排液口，并设有阀门，打开阀门排液或者加压装添液，关闭阀门则封闭吸附箱。

3.根据权利要求1所述的基板进料低噪吸尘装置，其特征在于：所述吸附管下端没入吸附箱内的吸附液液面以下。

4.根据权利要求1所述的基板进料低噪吸尘装置，其特征在于：所述低噪箱的箱体材料选用隔音板。