[实用新型]一种化学气相沉积炉

说明书

本实用新型属于热处理设备技术领域，公开一种化学气相沉积炉。包括炉壳，炉壳内腔中部位置上下贯穿设置有刚玉管，刚玉管的上下两端分别延伸出炉壳，刚玉管的上端为出气口，刚玉管的下端内部固定套设有气体分散器；炉壳内围绕刚玉管外周一圈串联设有若干个均匀分布的加热棒，串联后的加热棒引出一条电源线至炉壳外；炉壳内加热棒外周设有保温罩，保温罩底面固定在炉壳底壁上，保温罩四周侧壁与加热棒之间间隔有距离，保温罩四周侧壁与炉壳之间设置有隔热填充物。本实用新型炉内气体流动均匀，减少沉积区的热量散失，沉积效率高。

技术领域

本实用新型属于热处理设备技术领域，具体涉及一种化学气相沉积炉。

背景技术

化学气相沉积炉是利用化学气相沉积（Chemical Vapor Deposition）的原理，将参与化学气相沉积的物质，引至沉积室，加热到一定工艺温度，沉积，生成新的固态物质。现有的化学气相沉积炉主要由炉底、下炉体、上炉体及隔热屏等组成。现有的化学气相沉积炉由于沉积区温度与沉积区外壁温度差别过大，沉积炉热量损失较大，导致存在沉积效率降低、热能利用率不足等问题。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型的目的旨在提供一种化学气相沉积炉。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案如下：

一种化学气相沉积炉，包括炉壳，炉壳内腔中部位置上下贯穿设置有刚玉管，刚玉管的上下两端分别延伸出炉壳，刚玉管的上端为出气口，刚玉管的下端内部固定套设有气体分散器；炉壳内围绕刚玉管外周一圈串联设有若干个均匀分布的加热棒，串联后的加热棒引出一条电源线至炉壳外；炉壳内加热棒外周设有保温罩，保温罩底面固定在炉壳底壁上，保温罩四周侧壁与加热棒之间间隔有距离；保温罩四周侧壁与炉壳之间设置有隔热填充物；

所述气体分散器由下至上包括引流器以及与其固定连接的混合器；所述引流器为上大下小的漏斗形状，引流器的下端为进气口；所述混合器为圆柱形状，混合器的顶面和底面分别以其面心为圆心设有若干层气孔圈并且顶面的气孔圈层和底面的气孔圈层交错布置。

保温罩顶面设置到炉壳顶壁或者不设置到炉壳顶壁都可以，但是较好地，优选保温罩顶面与炉壳顶壁之间间隔有距离。

较好地，所述保温罩由内至外依次为镍板层和隔热砖层，隔热砖层的材质为氧化锆隔热砖、莫来石隔热砖或硼化锆隔热砖。

较好地，所述隔热填充物为玻璃纤维增强气凝胶、含锆陶瓷纤维棉、高铝陶瓷纤维棉或锆铝陶瓷纤维棉。

较好地，气体分散器与刚玉管之间通过法兰盘连接：气体分散器内置在刚玉管底端内腔中并且气体分散器的底端和刚玉管的底端平齐，刚玉管底端端部固定一法兰盘，法兰盘中心设有进气管，进气管与引流器下端的进气口相连为一体。

较好地，引流器与混合器之间一体成型。

设置加热棒时，加热棒可以伸出炉壳而固定在炉壳顶面或底面，也可以不伸出炉壳而固定在炉壳顶壁或底壁，但是较好地，优选加热棒的顶端伸出炉壳并固定在炉壳顶面，加热棒的底端与炉壳底壁之间间隔有距离。

较好地，所述加热棒的顶端缠绕有铝箔并通过固定夹固定在炉壳顶面上。

较好地，所述加热棒为U形。

较好地，所述加热棒为硅碳棒。

有益效果：本实用新型将多种气体经过气体分散器混合分散均匀，炉内气体流动均匀，沉积效率高，炉体设置保温罩对进行一级保温隔热，另设置隔热填充物作为二级保温隔热，隔热填充物使用隔热效果的材料减少沉积区的热量散失，提高沉积效率。

附图说明

图1：本实用新型化学气相沉积炉的结构示意图；

图2：气体分散器的纵向剖视结构示意图；