[实用新型]一种BTA的纯化装置

说明书

本实用新型公开了一种BTA的纯化装置，包括提取罐、内加热器、导热结构以及结晶析出结构，所述提取罐为立式罐体，所述提取罐顶端铰接有密封盖，所述密封盖上设有气体导出结构，所述提取罐底端设有内加热器，所述提取罐内设有结晶析出结构，本实用新型涉及精密半导体制备辅料加工设备技术领域，该BTA的纯化装置，以立式罐式的容器作为加热重结晶析出提纯的主体设备，其具有操作方便，结构简单，提取纯度高的特点，同时辅以密封混合结构，将一次结晶析出的结晶与溶剂快速搅拌混合均匀，而后进行重结晶析出操作，不仅混合彻底，避免一次结晶体混合不充分的问题，同时无需准备两套设备分别进行混合和重结晶节省设备成本。

技术领域

本实用新型涉及精密半导体制备辅料加工设备技术领域，具体为一种BTA的纯化装置。

背景技术

随着半导体行业的发展，对光刻胶剥离液提出了更高的的要求，本专利涉及的产品BTA，是第四代水性光刻胶中的核心辅料，第四代水性光刻胶能更好的去除氮化钛掩模，更对铜、钴、钽、氮化钽等金属；氧化硅、BDII低介电材料等具有良好的基材兼容性，第四代水性光刻胶去除液成品对金属离子的要求较高，成品metal＜20ppb，作为该配方中起到缓蚀剂作用的BTA也提出了更高的要求，对其metal要求小于20ppb，国内吡唑的生产厂家生产的该产品主要应用在金属加工等行业，产品的金属离子含量一般在4000ppb,如果应用在第四代水性光刻胶的配方中，会严重影响成品的金属离子含量，本发明有效的将BTA的金属离子控制在20ppb以下，并减少了其它杂质的含量，使其能完全满足第四代水性光刻胶的要求。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种BTA的纯化装置，解决了现有的重结晶蒸馏法，加入结晶剂后在结晶析出后进行过滤分离，但是这种方式产生的结晶物，其由于析出过程中分离不彻底，得到的纯化物纯度不是很高的问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种BTA的纯化装置，包括提取罐、内加热器、导热结构以及结晶析出结构，所述提取罐为立式罐体，所述提取罐顶端铰接有密封盖，所述密封盖上设有气体导出结构，所述提取罐底端设有内加热器，所述提取罐内设有结晶析出结构，所述内加热器与结晶析出结构之间设有导热结构，所述提取罐一侧设有密封混合结构；

所述密封混合结构包括：插套、安装架、安装板、驱动电机、搅拌轴、若干搅拌桨、旋转杆以及若干连杆；

所述密封盖中心开设有插装孔，所述插装孔内设有插套，所述安装架安装于提取罐一侧，所述安装架顶端向密封盖中心一侧延伸出安装板，所述驱动电机安装于板上，所述搅拌轴插装于插套内，所述搅拌轴上环设有若干安装槽，若干所述搅拌桨活动嵌装于若干所述安装槽内，所述搅拌轴轴心插装有旋转杆，所述旋转杆与驱动电机驱动端连接，所述旋转杆底端与若干搅拌桨端部连接，若干所述连杆连接于若干所述搅拌桨与安装槽内侧之间。

优选的，所述气体导出结构包括：若干导气孔以及若干隔尘网；

所述密封盖顶端且位于插装孔外侧换设有若干导气孔，若干所述导气孔上嵌装有若干隔尘网。

优选的，所述结晶析出结构包括：放置环、提取内胆以及外承口；

所述提取罐为圆柱形空腔结构，所述提取罐顶端设有放置环，所述提取内胆插装于放置环内，所述提取内胆顶端设有外承口与放置环匹配。

优选的，所述导热结构包括：主导热底垫、若干副导热柱以及若干副导热板；

所述主导热底垫套设于内加热器的热端上，所述主导热底垫外侧延伸出若干副导热柱，若干副导热柱上设有若干副导热板，若干所述副导热板环设于提取内胆外壁。

优选的，所述提取罐与密封盖之间设有固定锁。

有益效果