[实用新型]晶圆镀液的快速降温系统

权利要求书

1.一种晶圆镀液的快速降温系统，其特征在于：包括镀液槽，镀液槽内循环管道，热交换器，加热机，压缩空气进入口，压缩空气管道，纯水入口，纯水管道，循环泵，控制阀，所述镀液槽与镀液槽内循环管道连通，镀液槽内循环管道上设有换热分支管道和循环排放分支管道，换热分支管道与热交换器连通，循环泵位于换热分支管道上；循环排放分支管道和热交换器之间设有换热循环管道，换热循环管道上设有控制阀，该控制阀为循环气控阀；所述加热机与热交换器通过管道连接；所述压缩空气进入口在压缩空气管道入口端，压缩空气管道与镀液槽内循环管道连通，所述压缩空气管路上设有控制阀；所述纯水管道的端头为纯水入口，纯水管道与热交换器连接。

2.根据权利要求1所述的晶圆镀液的快速降温系统，其特征在于：所述热交换器包括化镀液回液口，密封盖板，加热机热水回水口，密封螺钉，室温纯水排水口，外壳，室温纯水进水口，加热机热水进水口，热交换器支架，化镀液进液口，毛细管，顶部分流板，底部分流板；所述外壳固定在热交换器支架上，外壳顶端设有顶部分流板，外壳底端设有底部分流板，通过密封螺钉固定，所述顶部分流板和底部分流板为双层，内层为带有多个通孔的板状，外层为带有进出口，内外层之间有空隙，顶部分流板外层顶部的进出口为化镀液回液口，底部分流板外层底部的进出口为化镀液进液口；由外壳，顶部分流板，底部分流板组成的密闭空间内设有毛细管，毛细管两端分别与顶部分流板和底部分流板上的通孔连通；外壳侧面上方设有室温纯水排水口下方设有室温纯水进水口。

3.根据权利要求1所述的晶圆镀液的快速降温系统，其特征在于：还包括压缩空气第一管路，所述压缩空气第一管路与压缩空气管道和纯水管道未接入热交换器的部分连通，所述压缩空气第一管路上设有纯水注入电磁阀，在压缩空气第一管路与纯水管道连通处，设有纯水注入气控阀。

4.根据权利要求1所述的晶圆镀液的快速降温系统，其特征在于：还包括压缩空气第二管路，所述压缩空气第二管路与压缩空气管道和纯水管道排出热交换器，靠近纯水排放口的部位连通，所述压缩空气第二管路上设有纯水排放电磁阀，在压缩空气第一管路与纯水管道连通处，设有纯水排放气控阀。

5.根据权利要求1所述的晶圆镀液的快速降温系统，其特征在于：还包括压缩空气第三管路，所述压缩空气第三管路与热交换器和换热循环管道相连通，压缩空气第三管路上设有循环电磁阀，在与换热循环管道相连通的部位设有循环气控阀。

6.根据权利要求1所述的晶圆镀液的快速降温系统，其特征在于：还包括压缩空气第四管路，所述压缩空气第四管路与循环排放分支管道相连通，压缩空气第四管路上设有化镀液排放电磁阀，在与循环排放分支管道相连通的部位设有化镀液排放气控阀。

7.根据权利要求1所述的晶圆镀液的快速降温系统，其特征在于：所述镀液槽包括镀液槽外槽和镀液槽内槽，镀液槽外槽嵌套在镀液槽内槽上部外侧，镀液槽外槽和镀液槽内槽底部设有镀液进出口。

8.根据权利要求1所述的晶圆镀液的快速降温系统，其特征在于：所述热交换器包括化镀液回液口，密封盖板，加热机热水回水口，密封螺钉，室温纯水排水口，外壳，室温纯水进水口，加热机热水进水口，热交换器支架，化镀液进液口，毛细管，顶部分流板，底部分流板；所述外壳固定在热交换器支架上，外壳顶端设有顶部分流板，外壳底端设有底部分流板，通过密封螺钉固定，所述顶部分流板和底部分流板为双层，内层为带有多个通孔的板状，外层为带有进出口，内外层之间有空隙，顶部分流板外层顶部的进出口为化镀液回液口，底部分流板外层底部的进出口为化镀液进液口；由外壳，顶部分流板，底部分流板组成的密闭空间内设有毛细管，毛细管两端分别与顶部分流板和底部分流板上的通孔连通；外壳侧面上方设有室温纯水排水口下方设有室温纯水进水口。

9.根据权利要求1所述的晶圆镀液的快速降温系统，其特征在于：还包括纯水排放阀和纯水排放口，所述纯水排放阀和纯水排放口设置于纯水管道上，纯水排放口为远离纯水入口的一端，纯水排放阀靠近纯水排放口；还包括镀化液排放阀和镀化液排放口，所述镀化液排放口设置于循环排放分支管道的尾端，镀化液排放阀位于循环排放分支管道上靠近镀化液排放口的位置。