[实用新型]一种气相法制备光纤预制棒所用流体的流量测量装置

权利要求书

1.一种气相法制备光纤预制棒所用流体的流量测量装置，其特征在于，该装置包含测量管道、光发射单元、光接收单元、光信号处理单元、反馈控制单元；

所述测量管道用于被测流体的通过，在管道轴线上有两个窗口分别用于光的输入和输出；

所述的光发射单元用于发射某一波长或几个波长的光束、并将光束耦合至测量窗口内，所述的光接收单元用于接收经流体后的光束；所述的光接收单元是光谱仪、光功率计或光电转换器件；

所述的光信号处理单元，用于将光接收单元获取的光信号提取并转换成数字信号；

所述的反馈控制单元用于将光信号处理单元输出的数字信号转换成相应的电信号控制气源的原料输送。

2.根据权利要求1所述的气相法制备光纤预制棒所用流体的流量测量装置，其特征在于，所述管道为双层抽真空结构，内层管道的内径与流体输送管道相同、光洁度符合流体输送要求，与输送管道的接口采用卡套连接或VCR连接；内外层材料选用高强度、耐腐蚀、高透光的高纯玻璃材料，内外层之间抽真空处理。

3.根据权利要求1所述的气相法制备光纤预制棒所用流体的流量测量装置，其特征在于，所述光发射单位为卤素灯或激光器。