[实用新型]一种碳氢清洗干燥设备的洗净干燥装置

权利要求书

1.一种碳氢清洗干燥设备的洗净干燥装置，包括洗净干燥槽、清洗液回收装置和控制电路，其特征在于，洗净干燥槽包括冷凝干燥槽和两个氟化液洗净槽，氟化液洗净槽布置在冷凝干燥槽的下方，氟化液洗净槽的顶部与冷凝干燥槽的底板连接，氟化液洗净槽的上端敞口，与冷凝干燥槽连通，冷凝干燥槽中装有盘管冷凝器，顶部装有顶盖；清洗液回收装置包括蒸馏装置和冷凝回收装置；蒸馏装置的入口接氟化液洗净槽的氟化液污液排出口，冷凝回收装置的入口接蒸馏装置的蒸汽出口，冷凝回收装置的氟化液出口接氟化液洗净槽的氟化液入口。

2.根据权利要求1所述的洗净干燥装置，其特征在于，洗净干燥槽包括循环过滤组件、氟化液储液箱和复数个气动阀，循环过滤组件包括串接的循环泵和过滤器；所述的氟化液洗净槽为两个，第一氟化液洗净槽为超声波洗净槽，第二氟化液洗净槽为浴洗槽；循环过滤组件的入口通过第一气动阀接第一氟化液洗净槽氟化液的出口，循环过滤组件的出口通过第二气动阀接第一氟化液洗净槽氟化液的第一入口，循环过滤组件的出口并通过第三气动阀接第二氟化液洗净槽氟化液的第一入口；第一氟化液洗净槽的氟化液污液排出口通过第十一气动阀接蒸馏装置的污液入口，氟化液储液箱通过第十气动阀与循环过滤组件的入口连接。

3.根据权利要求2所述的洗净干燥装置，其特征在于，洗净干燥槽包括水份分离器和用于降低氟化液温度的换热器，盘管冷凝器包括冷凝盘管，冷凝盘管靠近冷凝干燥槽的内侧壁盘绕；冷凝干燥槽的底板靠近冷凝干燥槽的内侧包括一圈环形的集液槽，集液槽底部的出口通过第六气动阀接水份分离器的入口，水份分离器氟化液的出口通过第七气动阀接第二氟化液洗净槽氟化液的第二入口，并通过第九气动阀接第一氟化液洗净槽氟化液的第二入口；换热器接在循环过滤组件的出口与第二气动阀之间。

4.根据权利要求2所述的洗净干燥装置，其特征在于，第一氟化液洗净槽包括超声波振子盒和第一加热装置，超声波振子盒安装在第一氟化液洗净槽的下部；第一加热装置安装在第一氟化液洗净槽中；第二氟化液洗净槽包括第二加热装置，第二加热装置安装在第二氟化液洗净槽中；第二氟化液洗净槽的顶部与第一氟化液洗净槽的顶部连通，连通部位为第二氟化液洗净槽的溢流通道。

5.根据权利要求3所述的洗净干燥装置，其特征在于，冷凝盘管包括水冷冷凝盘管和深冷冷凝器盘管；深冷冷凝器盘管布置在水冷冷凝盘管的上方，深冷冷凝器盘管与外部制冷机组连接，水冷冷凝盘管与外部冷水机组连接。

6.根据权利要求1所述的洗净干燥装置，其特征在于，冷凝回收装置包括冷凝器和气液分离箱，气液分离箱的入口接冷凝器的出口，冷凝器的入口接蒸馏装置的蒸汽出口，气液分离箱的出口接接洗净干燥槽的氟化液入口。

7.根据权利要求6所述的洗净干燥装置，其特征在于，冷凝回收装置包括循环泵和水力喷射器；循环泵的入口接气液分离箱的下部，出口接水力喷射器的工作流体入口；冷凝器的出口接水力喷射器的引射流体入口，水力喷射器的出口接气液分离箱上部的入口。

8.根据权利要求6所述的洗净干燥装置，其特征在于，蒸馏装置包括蒸馏釜、热油泵、热油加热装置和热油箱，蒸馏釜的下部装有加热管，热油泵的入口接热油箱，出口接热油加热装置的入口，热油加热装置的出口接加热管的入口，加热管的出口接热油箱；蒸馏釜的入口接碳氢超声波清洗装置的氟化液污液出口，蒸馏釜上部的蒸汽出口接冷凝器,蒸馏釜底部残留液体的出口接碳氢清洗液冷却箱，碳氢清洗液冷却箱的出口接碳氢清洗液储液箱。

9.根据权利要求7所述的洗净干燥装置，其特征在于，碳氢清洗液冷却箱和碳氢清洗液储液箱分装有液位开关，碳氢清洗液冷却箱的出口通过第一气动阀接碳氢清洗液储液箱，蒸馏装置残留液体的出口通过第二气动阀接碳氢清洗液冷却箱。

10.根据权利要求7所述的洗净干燥装置，其特征在于，氟化液洗净槽装有液位开关和温度传感器，蒸馏釜装有温度传感器和真空度传感器；液位开关的信号输出端、温度传感器的信号输出端、真空度传感器的信号输出端和气动阀的控制端分别接控制电路。