[实用新型]电激元器件光信号采集装置、光参数测试装置及设备有效
申请号: | 202021955726.8 | 申请日: | 2020-09-09 |
公开(公告)号: | CN212586432U | 公开(公告)日: | 2021-02-23 |
发明(设计)人: | 韦日文;杨应俊;沈杰;刘振辉 | 申请(专利权)人: | 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司 |
主分类号: | G01R1/04 | 分类号: | G01R1/04;G01R31/26 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 元器件 信号 采集 装置 参数 测试 设备 | ||
1.一种电激元器件光信号采集装置,其特征在于:
固定连接于机架的测试电极,用于对电激元器件导通电流;
支撑部,沿第一方向正对应所述测试电极并沿第一方向运动连接于所述测试电极。
2.根据权利要求1所述的电激元器件光信号采集装置,其特征在于:所述电激元器件光信号采集装置包括第一光信号采集部,
所述第一光信号采集部正对应所述电激元器件发光侧设置。
3.根据权利要求2所述的电激元器件光信号采集装置,其特征在于:
所述第一光信号采集部为设置有收光口的积分球,光线通过收光口进入积分球,所述收光口朝向支撑部;
所述支撑部包括导光部,所述导光部设置于积分球和测试电极之间;导光部的出光口连通于积分球的收光口;所述导光部运动连接于积分球。
4.根据权利要求3所述的电激元器件光信号采集装置,其特征在于:
所述导光部包括,
导光管,所述导光管的一端为出光口;
以及与所述导光管连接的透光止抵部,所述透光止抵部的一端连通于出光口,所述透光止抵部的面积小于出光口面积。
5.根据权利要求4所述的电激元器件光信号采集装置,其特征在于:所述导光管穿过收光口伸入积分球内部。
6.根据权利要求4所述的电激元器件光信号采集装置,其特征在于:所述导光管设置有导光通道,所述导光通道一端连接于透光止抵部,所述导光通道远离透光止抵部的一端为出光口。
7.根据权利要求6所述的电激元器件光信号采集装置,其特征在于:所述导光通道内壁粘附有漫反射涂层。
8.根据权利要求6所述的电激元器件光信号采集装置,其特征在于:所述导光通道为从靠近透光止抵部到出光口逐渐变大的喇叭口状结构。
9.根据权利要求3所述的电激元器件光信号采集装置,其特征在于:所述导光部与积分球之间通过滑轨滑槽连接。
10.根据权利要求9所述的电激元器件光信号采集装置,其特征在于:所述滑轨滑槽限定的直线运动方向平行于导光部中光线传输方向。
11.根据权利要求4所述的电激元器件光信号采集装置,其特征在于:导光部的出光口正对应积分球的收光口。
12.根据权利要求11所述的电激元器件光信号采集装置,其特征在于:所述导光部的出光口面积小于积分球的收光口面积。
13.一种光参数测试装置,其特征在于:所述光参数测试装置包括权利要求3-12任意一项所述的电激元器件光信号采集装置,以及通过光纤连接于所述电激元器件光信号采集装置的光谱仪。
14.根据权利要求13所述的光参数测试装置,其特征在于:积分球内部设置有挡光片,所述挡光片位于收光口和连接光纤的积分球端口之间。
15.一种光参数测试设备,其特征在于:所述光参数测试设备包括权利要求1-12任意一项所述的电激元器件光信号采集装置。
16.根据权利要求15所述的光参数测试设备,其特征在于:所述光参数测试设备包括,
位于导光部和测试电极之间、中空设置的平面运动机构;
以及连接于所述平面运动机构的固定部。
17.根据权利要求16所述的光参数测试设备,其特征在于:
所述固定部设置有磁性吸附部。
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