[实用新型]一种炉盖自动开启机构

说明书

本实用新型涉及晶体炉技术领域，公开了一种炉盖自动开启机构，包括立柱管、设在立柱管内的顶杆，立柱管的上端同轴固定有升降导向套，升降导向套内设有升降柱，升降柱的上端伸出升降导向套外，升降柱的上端侧面固定有炉盖固定座，炉盖固定座上固定有炉盖，立柱管的下端设有与顶杆下端固定的气缸；升降柱的外表面设有旋转导向槽，旋转导向槽包括上竖槽、下竖槽、用于连接上竖槽与下竖槽的过渡斜槽，升降导向套的内壁设有限位柱，限位柱的外端与升降导向套固定连接，限位柱的内端固定有滚针轴承，滚针轴承伸入旋转导向槽。本实用新型具有结构稳定、使用更加方便、安全的有益效果。

技术领域

本实用新型涉及晶体炉技术领域，尤其涉及一种炉盖自动开启机构。

背景技术

晶体炉是生产单晶硅、多晶硅、碳化硅的的制造设备。主要由炉体、加热器、计算机控制系统、设备框架、真空抽气系统等部分组成。将原料放入坩埚中，通过加热器对坩埚加热，原料直接气化升华后再籽晶上结晶。工作过程中炉盖处于关闭状态，晶体制造完成后需要打开炉盖，由于炉体、炉盖温度较高，而且炉盖重量较大，目前通常都是采用吊具或者顶升机构将炉盖提升，炉盖提升后再通过旋转电机或其他旋转机构将炉盖旋转一个角度，使得炉盖与炉体错开。现有的炉盖开启机构需要两套机构实现炉盖的提升、旋转，结构复杂，如果在提升或者下降过程中，旋转机构发生误动作容易造成安全隐患。

实用新型内容

本实用新型为了解决现有技术中的炉盖开启机构存在的上述问题，提供了一种结构稳定、使用更加方便、安全的炉盖自动开启机构。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种炉盖自动开启机构，包括立柱管、设在立柱管内的顶杆，所述立柱管的上端同轴固定有升降导向套，所述升降导向套内设有升降柱，所述升降柱的上端伸出升降导向套外，升降柱的上端侧面固定有炉盖固定座，所述炉盖固定座上固定有炉盖，所述立柱管的下端设有与顶杆下端固定的气缸；所述升降柱的外表面设有旋转导向槽，所述旋转导向槽包括上竖槽、下竖槽、用于连接上竖槽与下竖槽的过渡斜槽，所述升降导向套的内壁设有限位柱，所述限位柱的外端与升降导向套固定连接，限位柱的内端固定有滚针轴承，所述滚针轴承伸入旋转导向槽。

炉盖与炉体处于关闭状态，滚针轴承位于上竖槽内，需要打开炉盖时，气缸向上顶起，顶杆带动升降柱向上移动，升降柱先向上提升一段距离（滚针轴承沿着上竖槽移动至上竖槽的下端），此时炉盖提升一段位移，升降柱继续提升时在过渡斜槽的作用下发生旋转，从而使得炉盖与炉体错位，升降柱继续提升后滚针轴承进入下竖槽内限位，仅通过气缸实现炉盖的提升、旋转、定位，使用非常方便安全；同理，需要盖上炉盖时，气缸轴端缩入，升降柱上的旋转导向槽沿着滚针轴承先旋转到炉体正上方后再下降与炉体上端封闭。

作为优选，所述上竖槽、下竖槽在升降柱横截面方向上构成相位角α，70°≤α≤110°。相位角α的大小决定炉盖旋转角度。

作为优选，所述升降导向套的内孔两端均固定有自润滑轴承，升降导向套的上端内孔处设有防尘密封圈。自润滑轴承使得升降柱升降过程阻力小，更加顺畅。

作为优选，所述顶杆的上端与升降柱的下端之间设有浮动接头，所述浮动结构的上端与升降柱的固定连接，所述顶杆的上端固定有滑套，所述浮动接头的下端固定有支撑柱，所述支撑柱的下端插入滑套内与滑套滑动连接，所述滑套内设有自润滑轴承。浮动接头能够消除升降柱、顶杆的同轴度误差；而且浮动接头通过支撑柱与滑套滑动连接，这样炉盖处于封闭状态时，气缸轴不承重，从而对气缸起到保护作用，延长气缸使用寿命。

作为优选，所述立柱管的下端设有下法兰，立柱管的上端设有上法兰，所述升降导向套的下端设有与上法兰固定的连接法兰。

因此，本实用新型具有结构稳定、使用更加方便、安全的有益效果。

附图说明

图1为炉盖处于关闭状态示意图。

图2为图1中A处局部放大示意图。