[实用新型]废气处理装置

说明书

本实用新型公开了一种废气处理装置，通过第一循环泵从第一储液罐中吸入吸收液，并在一级填料吸收塔的上部喷出，通过第二循环泵从第二储液罐中吸入吸收液，并在二级填料吸收塔的上部喷出，且吸收液在穿过填料吸收塔后重新进入到第一储液罐和第二储液罐；工作时，废气将从第一管道进入到一级填料吸收塔的底部，废气自下而上穿过一级填料吸收塔，再通过第二管道进入到二级填料吸收塔的底部，废气再次自下而上穿过二级填料吸收塔，并在二级填料吸收塔的底部进入到第三管道中，最终通过风机排到烟囱内，解决了现有的废气处理装置对于磷烷和砷烷等工业废气吸收不充分的问题。

技术领域

本实用新型涉及工业废气处理技术领域，特别是涉及一种废气处理装置。

背景技术

磷烷和砷烷是两种重要的电子特气，是集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产中的支撑性材料以及是半导体器件制造中的重要N型掺杂源，同时磷烷还用在多晶硅化学气相沉淀、离子注入、磷硅玻璃钝化膜制备等工艺中。但由于磷烷和砷烷的毒性特别强，且具有易燃性，因此生产商和使用商都非常重视这两种气体的尾气净化。

现有技术中的一种磷烷尾气处理系统，其通过设置一级处理罐、二级洗气塔、离心风机、离心泵、喷淋头、球阀和压力表，从而达到处理磷烷尾气的目的。但是，其吸收液容器和洗气塔采用PE和玻璃钢材质，容易造成老化开裂，同时其结构设计的方式造成了处理废气产生的沉淀不易被清理的问题，并且其采用的塑料材质容易产生静电，有爆炸和燃烧的风险。

现有技术中的一种低浓度磷烷废气的净化方法，其将吸收液和固体催化剂放入鼓泡反应器中，加入催化剂使含有低浓度磷烷的气体进入到反应器中，并将反应器的反应温度控制在40～80℃，达到了吸收低浓度磷烷废气的效果。但是，该净化方法只能吸收低浓度的尾气，高浓度的尾气无法被吸收，在工业生产中无法保证有效吸收工业生产中产生的磷烷和砷烷废气。

现有技术中的一种磷烷气体净化材料的制备方法，其将载体、高锰酸钠、硫酸铜、羟甲基纤维素混合均匀，再加入糊精和水搅拌混匀后，挤出成型，烘干，煅烧，即得所述净化材料。该尾气净化材料只能处理少量的磷烷废气，无法在大生产的工业中使用。

实用新型内容

本实用新型提供了一种废气处理装置，用于解决现有的废气处理装置对于磷烷和砷烷等工业废气吸收不充分的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种废气处理装置，包括风机，其中还包括第一循环泵、第二循环泵、第一循环管、第二循环管、第一管道、第二管道、第三管道、一级填料吸收塔、二级填料吸收塔、第一储液罐和第二储液罐；

一级填料吸收塔设于第一储液罐上且与之连通，且一级填料吸收塔和第一储液罐的连接处设有过滤网；二级填料吸收塔设于第二储液罐上且与之连通，且二级填料吸收塔和第二储液罐的连接处设有过滤网。第一储液罐的下部与第一循环泵的一端连接，第一循环泵的另一端通过第一循环管与一级填料吸收塔的上部连接；第二储液罐的下部与第二循环泵的一端连接，第二循环泵的另一端通过第二循环管与二级填料吸收塔的上部连接；第一管道的一端与一级填料吸收塔的下部连接，第一管道的另一端与废气排出管连接；第二管道的一端与一级填料吸收塔的上部连接，第二管道的另一端与二级填料吸收塔的下部连接；第三管道的一端与二级填料吸收塔的上部连接，第三管道的另一端与风机的进风口连接，风机的出风口连接至烟囱。

优选地，第一储液罐和第二储液罐的底部为锥形结构。

优选地，第一储液罐和第二储液罐的侧面都设有法兰口，第一储液罐的内壁设有第一淤泥管，第二储液罐的内壁设有第二淤泥管；第一淤泥管的一端伸至第一储液罐的底部，第一淤泥管的另一端与第一储液罐侧面上的法兰口连接；第二淤泥管的一端伸至第二储液罐的底部，第二淤泥管的另一端与第二储液罐侧面上的法兰口连接。

优选地，第一储液罐的下部设有第一法兰，第一循环泵穿过第一法兰与第一储液罐连接；第二储液罐的下部设有第二法兰，第二循环泵穿过第二法兰与第二储液罐连接。