[实用新型]一种用于离线校准尼康i8光刻机激光器光轴的装置

权利要求书

1.一种用于离线校准尼康i8光刻机激光器光轴的装置，其特征在于，包括前定位块(1)、侧边定位块(2)、后定位块(3)、承载平面台(4)、连接面(5)、近点小孔标记(6)、远点小孔标记(7)，前定位块(1)作为激光器的前端定位挡板，放置在装置整体的前侧，后定位块(3)作为激光器的后端定位挡板，放置在装置整体的后侧，前定位块(1)、后定位块(3)的侧边分别放置有一个侧边定位块(2)，作为激光器的侧边位置定位挡板，前定位块(1)、侧边定位块(2)、后定位块(3)的表面均设置有放置激光器的承载平面台(4)，前定位块(1)、侧边定位块(2)、后定位块(3)的底部均设置有连接面(5)，前定位块(1)与侧边定位块(2)的中部前方靠近光源的一端设置有近点小孔标记(6)、远离光源的一端设置有远点小孔标记(7)；所述的前定位块(1)与对应侧的侧边定位块(2)之间的距离a为90mm，前定位块(1)与后定位块(3)之间的距离b为416mm，两个侧边定位块(2)之间的距离c为416mm，后定位块(3)与对应侧的侧边定位块(2)之间的距离d为66mm，前定位块(1)与近点小孔标记(6)之间的距离e为300mm。

2.根据权利要求1所述的一种用于离线校准尼康i8光刻机激光器光轴的装置，其特征在于，所述的前定位块(1)、侧边定位块(2)、后定位块(3)均通过螺丝固定在主支撑块上。

3.根据权利要求1所述的一种用于离线校准尼康i8光刻机激光器光轴的装置，其特征在于，所述的前定位块(1)、侧边定位块(2)、后定位块(3)表面的承载平面台(4)位于同一水平面。

4.根据权利要求1所述的一种用于离线校准尼康i8光刻机激光器光轴的装置，其特征在于，所述的连接面(5)采用硅胶海绵作为中间连接件。

5.根据权利要求1所述的一种用于离线校准尼康i8光刻机激光器光轴的装置，其特征在于，所述的近点小孔标记(6)与远点小孔标记(7)之间的距离f不小于4000mm。