[实用新型]四氯化硅制备系统

权利要求书

1.一种四氯化硅制备系统，其特征在于，所述四氯化硅制备系统包括四氯化硅反应器、文丘里洗涤器以及洗涤除尘塔，所述四氯化硅反应器包括相连通的第一进料管、反应塔体以及第一出料管，所述文丘里洗涤器包括相连通第二进料管、文丘里洗涤管以及第二出料管，所述洗涤除尘塔包括第三进料管以及洗涤塔，所述第一出料管与所述第二进料管连通，所述第二出料管与所述第三进料管连通。

2.根据权利要求1所述的四氯化硅制备系统，其特征在于，所述洗涤除尘塔还包括塔釜出液管，所述塔釜出液管与所述文丘里洗涤器连通，以将洗涤塔的上清液通入所述文丘里洗涤器中。

3.根据权利要求2所述的四氯化硅制备系统，其特征在于，所述四氯化硅制备系统还包括循环液管，所述循环液管的进液端和出液端均连通在所述塔釜出液管上。

4.根据权利要求2所述的四氯化硅制备系统，其特征在于，所述文丘里洗涤器包括依次连通的入口圆筒段、圆锥收缩段以及圆锥扩散段，所述入口圆筒段与所述第一进料管连通，所述圆锥扩散段与所述第三进料管连通。

5.根据权利要求1所述的四氯化硅制备系统，其特征在于，所述四氯化硅制备系统还包括至少一个冷凝组件，所述冷凝组件设置于所述第一出料管上，以冷凝从所述第一出料管排放至所述第二进料管的待冷凝原料。

6.根据权利要求5所述的四氯化硅制备系统，其特征在于，所述冷凝组件包括冷凝主管以及两个冷凝支管，所述冷凝主管与外部冷凝液连通，两个所述冷凝支管的第一端均与所述冷凝主管连通，两个所述冷凝支管的第二端均插入至所述第一出料管内部，所述冷凝支管的第二端上均设有排液喷头，两个排液喷头以所述第一出料管的轴线对称布置。

7.根据权利要求5所述的四氯化硅制备系统，其特征在于，所述冷凝组件的数量为多个，且多个所述冷凝组件沿所述第一出料管的延伸方向均匀间隔布置。