[实用新型]一种坩埚搬运夹爪机构

权利要求书

1.一种坩埚搬运夹爪机构，其特征在于：包括基础安装板、夹爪安装板(2)、旋转组件；

所述夹爪安装板用于安装夹爪(7)，夹爪安装板底部固定有第一导轨(40)，基础安装板顶部设有与第一导轨(40)对应的第一滑块(33)；

所述基础安装板上还设有用于驱动两个夹爪安装板运动的驱动组件；所述驱动组件包括伺服电机(41)、第一齿轮(48)、第一齿条(19)；所述伺服电机(41)安装于基础安装板上，用于带动第一齿轮(48)转动；所述第一齿条(19)与第一齿轮(48)啮合；两个所述第一齿条(19)对称设置分别与两个所述夹爪安装板(2)固定，用于实现夹爪(7)开闭；

所述旋转组件用于带动基础安装板旋转，从而实现夹爪(7)机构旋转。

2.根据权利要求1所述的一种坩埚搬运夹爪机构，其特征在于：所述夹爪(7)安装板包括第一固定板(3)、第二固定板；

所述第一固定板(3)与第一齿条(19)固定，第二固定板用于安装夹爪(7)；所述第一固定板(3)和第二固定板分别固定于导轨两端；所述第一固定板(3)和第二固定板顶部还设有加强筋(11)。

3.根据权利要求1所述的一种坩埚搬运夹爪机构，其特征在于：两个所述夹爪(7)端部还设有仿行夹爪(9)和扶正块(24)。

4.根据权利要求1所述的一种坩埚搬运夹爪机构，其特征在于：两个所述夹爪(7)上还设有用于检测坩埚有无的传感器(43)。

5.根据权利要求1所述的一种坩埚搬运夹爪机构，其特征在于：两个所述第一齿条(19)远离第一齿轮(48)的一侧还设有随动轴承(20)，随动轴承(20)与第一齿条(19)相切。

6.根据权利要求1所述的一种坩埚搬运夹爪机构，其特征在于：所述旋转组件包括旋转齿轮安装板(6)、旋转轴(15)、支柱(18)、第二齿轮、角接触球轴承(46)、深沟球轴承(47)、推力轴承(42)、轴承座(17)、Z轴移动机构、气缸(34)连接板、气缸(34)、第二齿条(29)、齿条安装板；

所述旋转齿轮安装板通过支柱(18)与基础安装板连接；所述第二齿轮安装在旋转齿轮安装板上，角接触球轴承(46)、深沟球轴承(47)、推力轴承(42)安装在旋转轴(15)上，轴承座(17)与Z轴移动机构连接；

所述第二齿条(29)与第二齿轮啮合；所述第二齿条(29)固定于齿条安装板上，齿条安装板还设有第二导轨(32)，气缸(34)连接板上设有与第二导轨(32)对应的第二滑块，使齿条安装板与气缸(34)连接板滑动连接；所述气缸(34)的活塞杆一端与齿条安装板连接，用于推动第二齿条(29)左右移动，从而实现夹爪(7)机构旋转。

7.根据权利要求6所述的一种坩埚搬运夹爪机构，其特征在于：所述气缸(34)连接板上还设有用于调整齿条移动行程的阻挡(37)块和缓冲器(30)；所述缓冲器(30)安装于气缸(34)连接板上；所述阻挡(37)块一端与齿条安装板固定，另一端置于两个缓冲器(30)之间。

8.根据权利要求6所述的一种坩埚搬运夹爪机构，其特征在于：包括限位组件；所述限位组件包括调整块(25)、调整杆；所述调整块(25)上设有与调整杆外径对应的导向孔，调整块(25)固定于第一固定板(3)顶部；所述调整杆一端与旋转齿轮安装板固定，另一端置于导向孔内；

还包括导向杆，所述导向杆上设有限位螺母(14)，限位螺母(14)的外径大于导向孔的内径。