[实用新型]一种具备清洁功能的PVD镀膜装置

权利要求书

1.一种具备清洁功能的PVD镀膜装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)左侧的底部固定连接有真空泵(2)，所述真空泵(2)的抽气管与箱体(1)连通，所述箱体(1)内腔的底部通过连接块固定连接有下电极板(3)，所述箱体(1)内腔的顶部通过连接块固定连接有上电极板(4)，所述箱体(1)内腔的顶部和底部均固定连接有加热板(5)，所述箱体(1)内腔顶部的左侧固定连接有气压传感器(6)，所述箱体(1)的内腔活动连接有双向螺纹杆(7)，所述双向螺纹杆(7)表面的两侧均螺纹套设有螺纹块(8)，所述螺纹块(8)的底部固定连接有电动伸缩杆(9)，所述电动伸缩杆(9)的底部固定连接有吸尘头(10)，所述双向螺纹杆(7)的左侧贯穿至箱体(1)的左侧并固定套设有转轮(11)，所述转轮(11)之间传动连接有皮带(12)，所述箱体(1)左侧的底部固定连接有安装板(13)，所述安装板(13)的顶部固定连接有电机(14)，所述电机(14)的传动轴与双向螺纹杆(7)固定连接，所述箱体(1)顶部的两侧均贯穿设置有导管(15)，所述导管(15)表面的顶部套设有电磁阀(16)，所述导管(15)通过管道与吸尘头(10)的顶部连通，所述箱体(1)右侧的顶部固定连接有风机(17)，所述风机(17)的抽风管通过管道与导管(15)连通，所述箱体(1)右侧的顶部固定连接有过滤箱(18)，所述导管(15)的出风管与过滤箱(18)的顶部连通，所述过滤箱(18)的右侧从上到下一侧贯穿设置有第一滤板(19)和第二滤板(20)，所述第一滤板(19)的右侧和第二滤板(20)的右侧均固定连接有卡板(21)，所述箱体(1)的内壁固定连接有漏板(22)，所述箱体(1)右侧的底部固定连接有蒸发箱(23)，所述蒸发箱(23)的底部通过管道与箱体(1)连通，所述箱体(1)正表面的两侧均通过铰链活动连接有门板(24)，所述箱体(1)左侧的前侧固定连接有控制器(25)，所述控制器(25)分别与真空泵(2)、下电极板(3)、上电极板(4)、加热板(5)、气压传感器(6)、电动伸缩杆(9)、电机(14)、电磁阀(16)和蒸发箱(23)电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种具备清洁功能的PVD镀膜装置，其特征在于：所述箱体(1)底部的四角均固定连接有支撑块，所述双向螺纹杆(7)与箱体(1)的连接处通过设置轴承活动连接。

3.根据权利要求1所述的一种具备清洁功能的PVD镀膜装置，其特征在于：所述双向螺纹杆(7)表面的中心处固定套设有限位块，所述双向螺纹杆(7)表面且位于限位块两侧的螺纹方向相反。

4.根据权利要求1所述的一种具备清洁功能的PVD镀膜装置，其特征在于：所述箱体(1)的内腔且位于双向螺纹杆(7)的前侧和后侧均固定连接有限位杆，限位杆贯穿螺纹块(8)并与螺纹块(8)活动连接。

5.根据权利要求1所述的一种具备清洁功能的PVD镀膜装置，其特征在于：所述卡板(21)的右侧固定连接有第一把手，所述门板(24)的正表面固定连接有第二把手，所述门板(24)的正表面镶嵌有观察窗。