[实用新型]一种用于PVD加工的螺旋式挂具有效
申请号: | 202021986299.X | 申请日: | 2020-09-11 |
公开(公告)号: | CN213086101U | 公开(公告)日: | 2021-04-30 |
发明(设计)人: | 张红星;张小健;樊天柱 | 申请(专利权)人: | 昆山市正行电子科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215300 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 pvd 加工 螺旋式 | ||
1.一种用于PVD加工的螺旋式挂具,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)底部的两侧均固定连接有支撑结构(3),所述底座(1)底部的四角均固定连接有万向轮(4),所述底座(1)内腔的底部固定连接有电机(12),所述电机(12)的输出端固定连接有主动锥齿轮(13),所述底座(1)内腔的底部活动连接有旋转杆(2),所述旋转杆(2)的表面固定套设有与主动锥齿轮(13)配合使用的从动锥齿轮(14),所述旋转杆(2)的顶部贯穿至底座(1)的顶部并固定连接有承载板(6),所述承载板(6)的顶部固定连接有立柱(8),所述立柱(8)表面的顶部固定连接有螺旋式挂杆(7),所述螺旋式挂杆(7)的顶部开设有凹槽(5)。
2.根据权利要求1所述的一种用于PVD加工的螺旋式挂具,其特征在于:所述旋转杆(2)的表面与底座(1)的连接处通过轴承活动连接,所述万向轮(4)的一侧设置有自锁结构。
3.根据权利要求1所述的一种用于PVD加工的螺旋式挂具,其特征在于:所述支撑结构(3)包括固定壳(17),所述固定壳(17)的内腔活动连接有限位块(15),所述限位块(15)的一侧固定连接有活动壳(16),所述活动壳(16)远离限位块(15)的一端贯穿至固定壳(17)的外侧并固定连接有连接块(19),所述连接块(19)的顶部设置有转盘(9),所述转盘(9)的底部固定连接有螺纹杆(20),所述螺纹杆(20)的底部贯穿至连接块(19)的底部并固定连接有底板(18),所述螺纹杆(20)的表面与连接块(19)的连接处螺纹连接。
4.根据权利要求1所述的一种用于PVD加工的螺旋式挂具,其特征在于:所述承载板(6)的底部固定连接有定位块(11),所述定位块(11)的内腔通过轴销活动连接有滚珠(10),所述滚珠(10)的底部与底座(1)接触。
5.根据权利要求1所述的一种用于PVD加工的螺旋式挂具,其特征在于:所述立柱(8)前后两侧的底部均固定连接有加强板,加强板的底部与承载板(6)固定连接,所述凹槽(5)的数量为若干个。
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