[实用新型]一种料板残胶检测机构

说明书

本实用新型提供了一种料板残胶检测机构，包括设备、安装在设备上的传输组件、检测组件、以及安装在传输组件上的料板；所述设备上设有进料口，所述传输组件一端贯穿进料口位于设备内，所述料板安装在传输组件顶部，所述传输组件上安装有挡停气缸，所述挡停气缸用于阻挡料板运行，所述检测组件安装在设备的侧壁上，所述检测组件位于进料口的上方，所述检测组件用于对料板顶部残胶检测。本实用新型所述的传输组件将料板进行传输至检测组件底部，检测组件对料座上的残胶进行检测，通过检测组件的反馈可准确的对残胶进行清理，减少人工成本，提高生产效率。

技术领域

本实用新型属于半导体制造技术领域，尤其是涉及一种料板残胶检测机构。

背景技术

随着传统化石能源枯竭，可再生能源研究收到重视，太阳能储量大、安全清洁等优势成为未来主要能源之一。产业高速发展、政策利好以及技术进步等因素的共同助力下，国内光伏发电产业的成长势头迅猛，产业维持高速增长。

在光伏硅片的制造过程中，料座脱胶粘板是整个硅片制作流程的关键环节，发挥着重大作用。线切工艺后，带有硅片的料座进行下一步工序料座脱胶粘板工艺。硅片通过高温水煮脱落收集进行下一步工序。带有树脂板料座进行铲板除胶工艺。料座除胶工艺中，可能会出现除胶不净，表面附有残余胶。进而导致下次粘树脂板时候涂胶不均，树脂板粘接不牢，晶棒掉落等重大事故。

现有料座脱胶粘板设备中无残胶检测机构，均是人工检验，很有可能出现漏检现象而且自动化程度不高，生产效率低。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型旨在提出一种料板残胶检测机构，以解决料座除胶工艺中除胶不干净，导致下次沾树脂板涂胶不均，树脂板粘接不牢，晶棒掉落问题。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种料板残胶检测机构，包括设备、安装在设备上的传输组件、检测组件、以及安装在传输组件上的料板；

所述设备上设有进料口，所述传输组件一端贯穿进料口位于设备内，所述料板安装在传输组件顶部，所述传输组件上安装有挡停气缸，所述挡停气缸用于阻挡料板运行，所述检测组件安装在设备的侧壁上，所述检测组件位于进料口的上方，所述检测组件用于对料板顶部残胶检测。

进一步的，所述传输组件包括传送架，所述传送架设有两组，每组传送架上安装有传送链，所述传送链围绕传送架设置，每组传送架两端分别设有齿轮，所述传送链与齿轮啮合，所述料板放置在传送链上，所述料板相对的两个侧壁上安装有限位块，所述料板相对两侧壁上均设有第一螺纹孔，所述限位块上设有与第一螺纹孔相对应的第二螺纹孔，限位块一端通过螺栓固定在料板上，限位块另一端侧壁上设有滑块，所述传送架侧壁上设有滑槽，所述滑块与滑槽滑动连接。

进一步的，两组传送架之间安装有气缸座，所述气缸座为凸字型，气缸座两边分别设有第一凸台，第一凸台上分别设有多个第三螺栓孔，所述气缸座顶部直径与两个传送架之间的距离相对应，所述第一凸台延伸至传送架底部，所述传送架底部设有与第三螺栓孔相对应的第四螺栓孔，所述气缸座通过螺栓固定在传送架上。

进一步的，所述气缸座顶部设有两个矩形槽，两个矩形槽内设有矩形凸台，所述挡停气缸设有两组，两组挡停气缸安装在矩形槽内，所述气缸座顶部设有第四螺纹孔，挡停气缸上设有矩形凸边，矩形凸边大小与矩形槽大小相对应，所述矩形凸边位于矩形槽内，所述矩形凸边贴合于矩形凸台，所述矩形凸台上设有第四螺栓孔，所述矩形凸边上设有与第四螺栓孔相对应的第五螺栓孔，所述挡停气缸通过螺栓固定在矩形槽内。

进一步的，所述检测组件包括直线模组、安装在直线模组上的摄像头、线激光探头，所述直线模组上包括滑块，所述滑块上安装有器件安装板，所述器件安装板过螺栓固定在滑块上，所述摄像头上设有第一安装支架，所述第一安装支架通过固定在安装板上，所述线激光探头上安装在第二安装支架，所述第二安装支架通过螺栓固定在安装板上。