[实用新型]一种超薄散热均热板

说明书

本实用新型公开了一种超薄散热均热板，包括带凸点铜片、铜丝或铜网、泡沫铜片，所述泡沫铜片与所述铜丝或铜网相接，所述铜丝或铜网与所述带凸点铜片的凸点面之间形成注有工作介质的真空容腔；所述带凸点铜片、铜丝或铜网、泡沫铜片之间通过边沿焊接结合；所述带凸点铜片、铜丝或铜网、泡沫铜片组成的多层结构的外围至少5个面上喷涂有高导热涂层。本实用新型通过在带凸点铜片、铜丝或铜网、泡沫铜片组成的多层结构外围至少5个面上喷涂高导热涂层，高导热涂层具有很好的导热性能且通过喷涂方式可实现完全封闭、不易漏；可制备得到具有超薄厚度（0.11～0.26mm）、导热性能好、封闭效果好、产品合格率高的超薄散热均热板。

技术领域

本实用新型涉及一种超薄散热均热板，属于散热技术领域。

背景技术

随着信息技术的快速发展，电子器件散热要求不断提高，推动电子热管器件的研究和发展。尤其在国防和航空航天重大装备应用上如雷达、激光、卫星、载人航天器等高科技装备上对散热提出了更高的要求，传统的散热方式是利用风扇强制对流对金属散热器进行冷却，这种方式远远不能满足目前控制系统如芯片的高热流密度和电子设备微小型化的要求。热管技术的应用解决了利用一维结构特征将高热流密度快速导出并散热的难题。而均热板（vapor chamber）的工作原理与热管相似，区别在于热管传热是一维，均热板传热是二维，相对于热管而言，均热板可以将集中的热源热量传递到更大的面积，因此均热板的传热特性更好。均热板作为二维平面结构的热管（所以也称平面热管），内部处于真空状态并注入一定量的液态工作介质。内壁具有毛细芯结构，当均热板受热时，其蒸发面的工作介质快速蒸发变成蒸汽，蒸汽通过蒸汽腔快速传到冷凝面放热并由气态凝结成液体，液体在毛细作用下通过毛细芯结构又快速回流到受热的蒸发面，形成汽液相快速流动和相变的循环，实现将热量从受热面快速传出并散热的效果。

均热板的制备过程与热管也基本相似，仅仅的差异即为均热板产品制作上通常是先抽真空再注入液相介质，以便使得液相介质填充吸液芯的微结构。充填的工质除了甲醇、酒精、丙酮等外，正常使用温度下用的最多的是利用去离子水，因为水的比热容大，且环保，并可进一步提升均热板的效能及使用寿命。目前均热板内常用的吸液芯的微结构主要有两种型态：铜粉烧结结构和编织铜网结构。

均热板的发展趋势是需要散热功率更高，尺寸更薄，目前无论是铜粉烧结还是编织铜网烧结结构，在产品质量稳定性、产品尺寸以及散热功率等方面仍需不断提高。

申请号为201410081954.X的发明专利中公开了一种超薄泡沫银为吸液芯的均热板制造方法，采用分级构造不同厚度和孔隙率的泡沫银烧结在由相应的不同厚度纯铜板（铜箔）制成的上盖板与下底板上，经焊接、抽真空、注液、封装等工艺制成均热板。然而，根据其实施例中的结果可知，上述发明中得到的均热板的厚度也只能做到2.4mm。

申请号为201410308535 .5的发明专利中公开了一种热沉材料为底板超薄均热板的制造方法，以超薄泡沫铜为吸液芯，热沉材料为底板和无氧纯铜盖板通过高温烧结、铜银或银焊接和封装注液形成超薄均热板，所述超薄均热板为三层结构，所述三层结构包括：上盖板、下底板和中间的分级构造超薄泡沫铜，所述分级构造超薄泡沫铜为花瓣形或者米字形。热沉材料的厚度可采用≥0.05毫米、超薄泡沫铜的厚度可采用≥0.1毫米、无氧铜盖板的厚度≥0.15毫米，结合上述参数，根据超薄泡沫铜厚度、铜的上盖板厚度及钼铜合金或钨铜合金板材厚度确定，可制成的均热板最薄厚度为0.3毫米。

申请号为201710756512.4的发明申请中公开了一种超薄均热板，包括底板和盖板，所述底板的内侧表面上设有凹槽，所述凹槽和盖板的内侧表面之间形成注有工作介质的真空容腔；所述凹槽内设有第一毛细结构；所述盖板上设有阵列排布的多个支撑柱，所述支撑柱垂直于盖板的内侧表面向底板方向延伸，所述盖板上设有长条形结构的第二毛细结构，所述第二毛细结构穿设在支撑柱之间。上述发明通过优化配置均热板的内部结构，使得均热板的厚度能够做到0.8mm以下，最低能做到0.4mm，做到均热板的超薄化。