[实用新型]一种晶圆解键合设备的刺破装置

权利要求书

1.一种晶圆解键合设备的刺破装置，其特征在于：包括插刀(101)、导向机构和驱动装置，所述插刀(101)设置于所述导向机构上，所述驱动装置驱动所述插刀(101)沿所述导向机构往复运动，所述插刀(101)连接有力度检测装置，所述力度检测装置随所述插刀(101)同步往复运动，所述驱动装置配置有用于检测所述插刀(101)进给距离的行程检测装置。

2.根据权利要求1所述的晶圆解键合设备的刺破装置，其特征在于：所述力度检测装置为力传感器(110)。

3.根据权利要求2所述的晶圆解键合设备的刺破装置，其特征在于：还包括传动机构；所述驱动装置为电机一(106)以及与所述电机一(106)的传动轴连接的减速机，所述传动机构包括丝杠一(104)、丝杠螺母(105)以及相互啮合的第一直齿轮(102)和第二直齿轮(103)，所述丝杠一(104)与所述电机一(106)的传动轴平行设置，所述丝杠螺母(105)套接于所述丝杠一(104)外，所述减速机的输出轴连接所述第一直齿轮(102)，所述丝杠一(104)连接所述第二直齿轮(103)。

4.根据权利要求3所述的晶圆解键合设备的刺破装置，其特征在于：所述导向机构包括直线导轨(107)以及在所述直线导轨(107)上滑动的第一滑块(108)和第二滑块(109)，所述第一滑块(108)上方与所述丝杠螺母(105)固定连接，所述丝杠螺母(105)的上方安装所述力传感器(110)，所述第二滑块(109)的上方安装所述插刀(101)。

5.根据权利要求4所述的晶圆解键合设备的刺破装置，其特征在于：所述力传感器(110)的一端连接有转接件一(111)，所述转接件一(111)与所述丝杠螺母(105)连接，所述插刀(101)通过刀座(112)安装在所述第二滑块(109)上，所述力传感器(110)的另一端与所述刀座(112)连接。

6.根据权利要求3-5任一所述的晶圆解键合设备的刺破装置，其特征在于：所述第一直齿轮(102)和所述第二直齿轮(103)密封于齿轮箱(113)内，所述丝杠螺母(105)为耐磨工程塑料螺母，所述电机一(106)为微电机，所述行程检测装置为所述电机一(106)配置的编码器。

7.根据权利要求2所述的晶圆解键合设备的刺破装置，其特征在于：还包括传动机构；所述驱动装置为电机二(202)，所述传动机构包括与所述电机二(202)输出轴连接的联轴器(203)、与所述联轴器(203)输出轴连接的丝杠二(204)以及套接于所述丝杠二(204)外的滑块(205)，所述力传感器(110)的一侧安装于所述滑块(205)上，所述力传感器(110)的另一侧通过连接件(206)与插刀安装件(207)的一端连接，所述插刀安装件(207)的另一端安装有所述插刀(101)。

8.根据权利要求2所述的晶圆解键合设备的刺破装置，其特征在于：还包括传动机构；所述驱动装置为电机二(202)，所述传动机构包括同步带(201)、丝杠二(204)以及套接于所述丝杠二(204)外的滑块(205)，所述同步带(201)的长度方向与所述电机二(202)传动轴、所述丝杠二(204)垂直，所述同步带(201)的一端与所述电机二(202)的所述传动轴连接，另一端与所述丝杠二(204)连接，所述力传感器(110)的一侧安装于所述滑块(205)上，所述力传感器(110)的另一侧通过连接件(206)与插刀安装件(207)的一端连接，所述插刀安装件(207)的另一端安装有所述插刀(101)。

9.根据权利要求7或8所述的晶圆解键合设备的刺破装置，其特征在于：所述导向机构包括导轨(208)以及在所述导轨(208)上滑动的导向块(209)，所述导向块(209)的上方连接所述插刀安装件(207)；所述电机二(202)为微电机，所述行程检测装置为所述电机二(202)配置的编码器。

10.根据权利要求2所述的晶圆解键合设备的刺破装置，其特征在于：所述驱动装置为电缸(302)，所述电缸(302)的伸缩杆(303)通过转接件二(304)连接所述力传感器(110)，所述导向机构包括导轨二(305)以及在所述导轨二(305)上滑动的导向块二(301)，所述导向块二(301)的一侧与所述力传感器(110)连接，所述导向块二(301)的另一侧安装所述插刀(101)；所述行程检测装置为所述电缸(302)配置的编码器。