[实用新型]可测试及微转移的微元件及显示装置有效
申请号: | 202021997545.1 | 申请日: | 2020-09-14 |
公开(公告)号: | CN212461685U | 公开(公告)日: | 2021-02-02 |
发明(设计)人: | 江方;吴双;冯妍雪;柯志杰;艾国齐 | 申请(专利权)人: | 厦门乾照半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L25/075 | 分类号: | H01L25/075;H01L21/66;H01L21/67;H01L27/15 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 361001 福建省厦门市*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 测试 转移 元件 显示装置 | ||
1.一种可测试及微转移的微元件,其特征在于,包括:
支撑衬底;
键合层,所述键合层位于所述支撑衬底的表面;
发光结构,所述发光结构包括倒挂于支撑衬底且通过沟槽相互隔离的若干个LED芯粒,所述键合层设置于所述支撑衬底的表面并嵌入所述沟槽形成支撑柱,且所述键合层与各所述LED芯粒具有空气间隙;各所述LED芯粒包括外延层、覆盖外延层裸露区域的保护层及位于所述外延层朝向所述支撑衬底一侧的第一电极和第二电极;第一电极和所述第二电极分别通过所述LED芯粒的侧壁延伸至与所述沟槽对应的键合层表面,使其裸露于所述沟槽上方,且,任意一LED芯粒的第一电极和第二电极分别与相邻的LED芯粒的第二电极和第一电极在对应的沟槽底部彼此远离设置;同一水平方向或垂直方向的各所述第一电极相互连接形成第一电极引线;同一水平方向或垂直方向的各所述第二电极相互连接形成第二电极引线;
第一测试电极,所述第一测试电极裸露于所述微元件的一侧边缘,并用于连接所有所述第一电极引线;
第二测试电极,所述第二测试电极裸露于所述微元件的另一侧边缘,并用于连接所有所述第二电极引线。
2.根据权利要求1所述的可测试及微转移的微元件,其特征在于,所述外延层至少包括在临时衬底表面依次堆叠的第一型半导体层、有源层和第二型半导体层,且所述外延层通过所述临时衬底倒挂悬空于所述支撑衬底上方;所述第二型半导体层背离所述有源层的一侧表面设有一透明导电层,所述第二电极层叠于所述透明导电层的部分表面;所述第一电极层叠于所述第一型半导体层的局部区域。
3.根据权利要求1所述的可测试及微转移的微元件,其特征在于,所述第一电极和所述第二电极包括反射电极。
4.根据权利要求1或2或3所述的可测试及微转移的微元件,其特征在于,所述保护层包括腐蚀截止层。
5.根据权利要求1或2或3所述的可测试及微转移的微元件,其特征在于,所示第一电极和第二电极分别半包覆或局部包覆所述LED芯粒的侧壁,且两者的包覆区域不交叉。
6.根据权利要求1或2或3所述的可测试及微转移的微元件,其特征在于,所述键合层包括金属或硅胶或紫外胶或树脂。
7.一种显示装置,其特征在于,通过对权利要求1-6任一项所述的微元件进行巨量转移而获得,其中,以裸露于所述沟槽上方的第一电极和第二电极的金属作为巨量转移的链条,裸露的键合层作为锚固,通过转移设备定位至各所述锚固,从而实现所述微元件的巨量转移。
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