[实用新型]一种用于真空镀膜机的高压阀

权利要求书

1.一种用于真空镀膜机的高压阀，其特征在于：包括阀壳，气缸，阀板与气缸安装组件，所述阀壳呈方形，所述阀壳相对的两个侧壁上设置有进气孔与气缸安装孔，所述气缸安装组件包括密封座、过渡法兰、密封压套与空心螺钉，所述过渡法兰通过螺栓安装在所述气缸安装孔上，所述密封座一端设置有凸起，所述凸起是中空的，所述凸起贯穿所述过渡法兰与所述气缸安装孔抵接，所述气缸安装在所述密封座上，所述空心螺钉安装在所述气缸安装孔上，所述气缸的活动杆依次贯穿所述凸起及所述空心螺钉与所述阀板一端活动连接，所述阀板另一端活动抵接在所述进气孔上，所述密封压套套设在所述活动杆上并与所述凸起内壁抵接，所述空心螺钉与所述密封压套抵接。

2.如权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的高压阀，其特征在于：所述阀板上端设置有半球凹槽、压盖与球连接头，所述活动杆端部与所述球连接头一端可拆卸连接，所述球连接头另一端活动安装在所述半球凹槽内，所述压盖通过螺栓与所述半球凹槽上端可拆卸连接，所述压盖与所述球连接头边部抵接。

3.如权利要求2所述的一种用于真空镀膜机的高压阀，其特征在于：所述阀板背离所述气缸的一端面上还设置有密封胶圈，所述密封胶圈与所述阀壳内壁活动抵接。

4.如权利要求3所述的一种用于真空镀膜机的高压阀，其特征在于：所述凸起端部还设置有梯台，所述空心螺钉可拆卸安装在所述梯台上并与所述密封压套抵接。

5.如权利要求4所述的一种用于真空镀膜机的高压阀，其特征在于：所述阀板表面镀镍。