[实用新型]一种聚对二甲苯卧式沉积腔室滚筒的复合结构

说明书

本实用新型属于沉积腔室滚筒技术领域，尤其是一种聚对二甲苯卧式沉积腔室滚筒的复合结构，现提出如下方案，包括沉积腔室，所述沉积腔室的一端活动套接有滚筒，所述滚筒伸出沉积腔室的一端安装有与沉积腔室固接的L型结构的支撑板，所述滚筒的两侧开设有与其内部连通的对接槽，所述对接槽的内部卡接有圆弧形结构的封闭板，所述对接槽远离支撑板的一端开设有位于滚筒端部的进气口，所述进气口的两侧设置有封闭机构。本实用新型能够方便滚筒内部的工件的更换，在更滑之前将滚筒进行密封，同时抽离滚筒内部残余的气体，避免原料泄漏浪费，实现滚筒的开合，方便工件的更换放置，提高工件的加工效率。

技术领域

本实用新型涉及沉积腔室滚筒技术领域，尤其涉及一种聚对二甲苯卧式沉积腔室滚筒的复合结构。

背景技术

聚对二甲苯是通过化学气相沉积法制备的具有聚二甲结构的聚合物薄膜的统称，具有极其优良的电性能、化学稳定性和生物相容性，在微电子机械系统、电子元器件、医疗器材等领域有着广泛的应用。

聚对二甲苯薄膜均采用气相沉积法(CVD工艺)制造，工艺如下：对二甲苯二聚体在180℃下升华为气体，经过高温裂解为对二甲苯单体，再导入内部沉积装置中在室温下沉积聚合于产品表面；现有的沉积腔室功能单一，不方便工件的更换，同时原料气体容易泄漏，为此需要一种聚对二甲苯卧式沉积腔室滚筒的复合结构。

实用新型内容

本实用新型提出的一种聚对二甲苯卧式沉积腔室滚筒的复合结构，解决了现有技术中存在的问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种聚对二甲苯卧式沉积腔室滚筒的复合结构，包括沉积腔室，所述沉积腔室的一端活动套接有滚筒，所述滚筒伸出沉积腔室的一端安装有与沉积腔室固接的L型结构的支撑板，所述滚筒的两侧开设有与其内部连通的对接槽，所述对接槽的内部卡接有圆弧形结构的封闭板，所述对接槽远离支撑板的一端开设有位于滚筒端部的进气口，所述进气口的两侧设置有封闭机构，所述滚筒伸入沉积腔室一端活动套接有驱动机构，所述驱动机构的两侧安装有位于滚筒外侧壁的开合机构，所述开合机构设置有锁紧机构；

开合机构包括固定在封闭板外凸面的弧形结构的导向条，导向条远离封闭板的一侧滑动套接有半圆形结构的保持板，保持板远离导向条的一侧固接有L型结构的支撑杆，支撑杆的另一端固定套接有与其垂直设置的拉杆，拉杆的顶部固定套接有与驱动机构固接的导向单元，拉杆的底部开设有位于支撑板顶部的第一导向槽，第一导向槽沿支撑板长度方向设置且与拉杆活动套接，第一导向槽远离滚筒的一端开设有与其倾斜设置的第二导向槽。

优选的，所述封闭机构包括两组开设在进气口两侧的内侧壁上的安装槽以及活动套接在滚筒外圈的抵触套环，安装槽的内部滑动套接有密封板，抵触套环位于对接槽靠近进气口的一侧，抵触套环的内圈开设有两组沿进气口对称设置的容纳腔，容纳腔的内部滑动套接有与抵触套环内圈固定连接的推板，推板远离对接槽的一侧固接有气囊，气囊远离推板的一端套接有与安装槽连通的气管，且气管预埋在滚筒内部。

优选的，所述驱动机构包括与滚筒活动套接的安装盘，安装盘固定套接有抽气管，且滚筒开设有与抽气管连通的抽气孔，安装盘的外圈安装有与滚筒端部固定连接的齿轮圈，齿轮圈的内圈啮合有齿轮，齿轮的内圈安装有转轴，转轴的一端安装有与安装盘固接的电机，安装盘远离滚筒的一端安装有与支撑板固接的推杆电机。

优选的，所述保持板内凹面开有沿其长度方向设置的滑槽，滑槽的横截面与导向条的横截面一直且为T型结构，导向条远离滚筒的一侧开设有沿其长度方向设置的卡槽。

优选的，所述锁紧机构包括与保持板活动套接的锁紧杆，锁紧杆伸入至滑槽内部，锁紧杆远离滑槽的一端固接有梯形结构的抵触块，抵触块靠近锁紧杆的一侧安装有与锁紧杆套接的弹簧，且弹簧与保持板固接。

优选的，所述导向单元包括与安装盘固接的导向杆，导向杆的另一端活动套接有与拉杆固接的套筒。

本实用新型中，