[实用新型]一种能量连续可调一体化打标装置

说明书

本实用新型属于光刻技术领域，具体涉及一种能量连续可调一体化打标装置，包括壳体、镜筒、镜片、光源和驱动电路；壳体呈内部中空的圆柱状结构，镜筒固设在壳体的上端，且镜筒与壳体的内部连通，镜片固设在镜筒内，壳体内安装有安装板、光源和驱动电路，且光源和驱动电路分别安装在安装板的上下两侧；驱动电路包括依次串联的参考电压源、恒定电阻、连续可变电阻单元和恒流电路，其中恒流电路串接于光源与接地之间，连续可变电阻单元用于控制驱动电路的电阻，以驱动电路对应光源产生光束的输出强度，克服了现有技术的不足，将调整电路嵌入独立的打标装置内，通过连续可调的电阻对每个打标装置进行输出能量校正，保证打标效果的一致性。

技术领域

本实用新型属于光刻技术领域，具体涉及一种能量连续可调一体化打标装置。

背景技术

半导体晶片生产厂家对相同形状的不同半导体晶片进行区分时，需要对每个半导体晶片进行编号，并将相应的编号刻蚀到半导体晶片上，一般用激光照射半导体晶片需要打标的位置，利用激光烧蚀完成半导体晶片的编号刻蚀。

目前的打标装置由于光源单个之间是有差异，然后光学系统也有装配差异，所以最终打标装置的输出能量是会产生差异，带来的问题是点亮同等时间时，产生的打标效果不同，造成打标效果不稳定的问题；目前对上述问题的解决采用上层应用系统对单个打标装置进行调整，这种调整方法使上层应用系统更加复杂，需要上层应用系统对每个打标个体进行控制。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种能量连续可调一体化打标装置，克服了现有技术的不足，将调整电路嵌入独立的打标装置内，通过连续可调的电阻对每个打标装置进行输出能量校正，保证打标效果的一致性。

为解决上述问题，本实用新型所采取的技术方案如下：

一种能量连续可调一体化打标装置，包括壳体、镜筒、镜片、光源和驱动电路；所述壳体呈内部中空的圆柱状结构，所述镜筒固设在壳体的上端，且镜筒与壳体的内部连通，所述镜片固设在镜筒内，所述壳体内安装有安装板、光源和驱动电路，且光源和驱动电路分别安装在安装板的上下两侧；

所述驱动电路包括依次串联的参考电压源、恒定电阻、连续可变电阻单元和恒流电路，其中恒流电路串接于光源与接地之间，所述连续可变电阻单元用于控制驱动电路的电阻，以驱动电路对应光源产生光束的输出强度。

进一步，所述连续可变电阻单元采用连续可调的可变电阻器。

进一步，所述连续可变电阻单元包括电阻控制模块和可变电阻，并通过电阻控制模块控制可变电阻的电阻值。

进一步，所述壳体的外侧固设有环状的安装件，且安装件的四周穿设有多个安装孔。

进一步，所述壳体、镜筒、镜片和光源的中心均在同一直线上，所述光源采用发光二极管或雷射二极管中的一种。

本实用新型与现有技术相比较，具有以下有益效果：

1、本实用新型通过调整连续可调的电阻从而对每个打标装置进行输出能量校正，保证打标效果的一致性，增加产品光源的可维护性和替换性，降低设备的使用成本。

2、本实用新型通过将调整电路嵌入独立的打标装置内，可以简化上层应用系统的设计，上层应用系统可以不再关注单个个体的差异性，降低了上层应用系统设计的难度。

附图说明

图1为一种能量连续可调一体化打标装置的结构示意图。

图2为一种能量连续可调一体化打标装置中壳体的内部结构示意图。

图3为一种能量连续可调一体化打标装置的电路连接示意图。

图中：1、壳体；2、镜筒；3、镜片；4、安装件；5、电源线；6、光源； 7、驱动电路；8、连续可变电阻单元；9、安装板。

具体实施方式