[实用新型]一种硅环放置架

说明书

本实用新型公开了一种硅环放置架，旨在解决硅环放置架存在散架的风险，硅环与放置架接触面积大，硅环洗净不彻底，相邻硅环之间存在碰撞划伤的现象的不足。该实用新型包括两连接在一起的挡板，两挡板之间形成用于放置硅环的空间，两挡板之间连接底部支撑条和侧边限位条，底部支撑条和侧边限位条上均设有若干用于插装硅环的定位插槽，底部支撑条上的定位插槽和侧边限位条上的定位插槽一一对应设置。这种硅环放置架的结构强度好，不存在散架的风险，硅环与放置架接触面积小，硅环洗净更加彻底，相邻硅环之间不存在碰撞划伤的现象。

技术领域

本实用新型涉及半导体洗净技术领域，更具体地说，它涉及一种硅环放置架。

背景技术

半导体的化学洗净即是将半导体浸入化学液体中清除其表面附着的不需要的物质，保证其洁净纯度。在化学洗净前后，还有多道前工序洗净和后工序洗净，其中会涉及到超声波洗净和煮沸洗净，即将硅环放入超声波水槽或者高温水槽中，然后进行洗净处理，通过超声波和高温除去硅环表面杂质和有机物。硅环在洗净过程中需要放置在放置架上，放置架对硅环进行定位，但是现在使用的很多放置架与硅环的接触面积大，接触位置清洗不彻底，相邻硅环之间易出现碰撞划伤的风险，而且放置架强度不佳，存现散架的风险。

实用新型内容

为了克服上述不足，本实用新型提供了一种硅环放置架，它的结构强度好，不存在散架的风险，硅环与放置架接触面积小，硅环洗净更加彻底，相邻硅环之间不存在碰撞划伤的现象。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：一种硅环放置架，包括两连接在一起的挡板，两挡板之间形成用于放置硅环的空间，两挡板之间连接底部支撑条和侧边限位条，底部支撑条和侧边限位条上均设有若干用于插装硅环的定位插槽，底部支撑条上的定位插槽和侧边限位条上的定位插槽一一对应设置。

硅环存放时下端支撑在底部支撑条上的定位插槽中，侧边支撑在侧边限位条上的定位插槽中，从而防止硅环倾倒。硅环与定位插槽点接触，接触面积小，防止洗净过程中由于接触面积大而出现污染。不同的硅环支撑在不同的定位插槽中，相邻两硅环相互隔离，而且硅环不易晃动，避免了碰撞划伤的现象。这种硅环放置架的结构强度好，不存在散架的风险，硅环与放置架接触面积小，硅环洗净更加彻底，相邻硅环之间不存在碰撞划伤的现象。

作为优选，两挡板的左侧之间以及右侧之间均连接有加强条。加强条提高了两挡板之间的连接强度，保证了整个硅环放置架的稳定性。

作为优选，挡板上和加强条连接位置设有连接槽，加强条端部设有和连接槽适配的凸头，凸头插装在连接槽中并与挡板紧固连接。加强条和挡板之间通过凸头和连接槽连接定位，连接方便可靠。

作为优选，底部支撑条和侧边限位条均设有两条，两底部支撑条均连接在两挡板的下部之间，两侧边限位条分别连接在两挡板的左侧之间和右侧之间。底部支撑条和侧边限位条均设有两条，使硅环放置后更加平稳可靠，不会晃动。

作为优选，定位插槽呈V形结构。V形的定位插槽对硅环的定位更加可靠。

作为优选，挡板上设有镂空窗。保证硅环在清洗时清洗液可以充分进入放置硅环的空间。

作为优选，挡板上和底部支撑条连接位置设有底部凹槽，底部支撑条端部适配插装在底部凹槽中并与挡板紧固连接。底部支撑条端部适配插装在底部凹槽实现与挡板的连接紧固，连接方便可靠。

作为优选，挡板上和侧边限位条连接位置设有侧边凹槽，侧边限位条端部设有和侧边凹槽适配的凸块，凸块插装在侧边凹槽中并与挡板紧固连接。侧边限位条和挡板之间通过凸块和侧边凹槽实现连接紧固，连接方便可靠。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：硅环放置架的结构强度好，不存在散架的风险，硅环与放置架接触面积小，硅环洗净更加彻底，相邻硅环之间不存在碰撞划伤的现象。

附图说明

图1是本实用新型的一种结构示意图；