[实用新型]正交双源双探测器X射线显微镜系统

权利要求书

1.一种正交双源双探测器X射线显微镜系统，其特征在于，包括：

底座，所述底座上方设有沿第一方向延伸且包括两组滑块的第一滑块导轨、分别位于所述第一滑块导轨两侧且沿第二方向延伸的第二滑块导轨和第三滑块导轨、两个驱动所述第一滑块导轨的不同组滑块的第一驱动件、驱动所述第二滑块导轨的第二驱动件，以及驱动所述第三滑块导轨的第三驱动件，其中所述第二方向与所述第一方向垂直；

载物台，所述载物台包括与所述第一滑块导轨的滑块固定连接的台体、固定在所述台体上方的第四滑块导轨、与所述第四滑块导轨的滑轨固定连接的承载板和驱动所述第四滑块导轨的第四驱动件，其中所述第四滑块导轨沿所述第二方向延伸，所述承载板固定工件；

第一射线源组件，所述第一射线源组件包括与所述第二滑块导轨的滑块固定连接的第一支架和设置在所述第一支架上的第一射线源；

第一探测器组件，所述第一探测器组件包括与所述第三滑块导轨的滑块固定连接的第二支架和设置在所述第二支架上的第一探测器，所述第一探测器接收由所述第一射线源形成的扫描图像；

第二射线源组件，所述第二射线源组件包括固定在所述第一滑块导轨一端的所述底座上的第三支架和设置在所述第三支架上的第二射线源；以及

第二探测器组件，所述第二探测器组件包括与所述第一滑块导轨的另外一组滑块固定连接的第四支架和设置在所述第四支架上的第二探测器，所述第二探测器接收由所述第二射线源形成的扫描图像。

2.根据权利要求1所述的正交双源双探测器X射线显微镜系统，其特征在于，所述第一支架上设有沿垂直所述载物台延伸的第一辅滑块导轨和驱动所述第一辅滑块导轨的第一辅驱动件，所述第一射线源固定在所述第一辅滑块导轨的滑块上；

所述第二支架设有沿垂直所述载物台延伸的第二辅滑块导轨和驱动所述第二辅滑块导轨的第二辅驱动件，所述第一探测器设置在所述第二辅滑块导轨的滑块上；

所述第三支架上设有沿垂直所述载物台延伸的第三辅滑块导轨和驱动所述第三辅滑块导轨的第三辅驱动件，所述第二射线源固定在所述第三辅滑块导轨的滑块上；

所述第四支架设有沿垂直所述载物台延伸的第四辅滑块导轨和驱动所述第四辅滑块导轨的第四辅驱动件，所述第二探测器设置在所述第四辅滑块导轨的滑块上。

3.根据权利要求2所述的正交双源双探测器X射线显微镜系统，其特征在于，所述第二辅滑块导轨的滑块上设有垂直所述第二辅滑块导轨延伸的第五辅滑块导轨和驱动所述第五辅滑块导轨的第五辅驱动件，所述第一探测器与所述第五辅滑块导轨的滑块固定连接。

4.根据权利要求2所述的正交双源双探测器X射线显微镜系统，其特征在于，所述第四辅滑块导轨的滑块上设有垂直所述第四辅滑块导轨延伸的第六辅滑块导轨和驱动所述第六辅滑块导轨的第六辅驱动件，所述第二探测器与所述第六辅滑块导轨的滑块固定连接。

5.根据权利要求2所述的正交双源双探测器X射线显微镜系统，其特征在于，所述第一辅滑块导轨的滑块为沿竖直方向延伸的长方形，所述第一射线源靠近所述第一辅滑块导轨的滑块下端；

所述第三辅滑块导轨的滑块为沿竖直方向延伸的长方形，所述第二射线源靠近所述第三辅滑块导轨的滑块上端。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的正交双源双探测器X射线显微镜系统，其特征在于，两个所述第一驱动件均包括固定在所述第一滑块导轨的其中一个滑块上的第一驱动电机、两端均固定在所述底座上的丝杠、与所述丝杠可转动连接的滑套和连接所述滑套、所述第一驱动电机的电机轴的传动带，其中两个所述第一驱动件的滑套分别可转动式与所述台体和所述第四支架连接。

7.根据权利要求6所述的正交双源双探测器X射线显微镜系统，其特征在于，所述第一滑块导轨设有两个，所述丝杠位于两个所述第一滑块导轨之间。

8.根据权利要求2-5中任一项所述的正交双源双探测器X射线显微镜系统，其特征在于，所述第二辅驱动件包括固定在所述第二支架上的第二辅驱动电机和两端可转动式固定在所述第二支架上的丝杠，所述第二辅滑块导轨的滑块通过套设在所述丝杠的滑套与所述丝杠连接。