[实用新型]带有集屑工作台的磁控溅射真空镀膜机

权利要求书

1.一种带有集屑工作台的磁控溅射真空镀膜机，包括外机壳(1)，所述的外机壳(1)内具有中空的内腔(2)，其特征在于，所述的内腔(2)中设置有磁控溅射机构(3)以及与磁控溅射机构(3)相配合的工作台(4)，所述工作台(4)活动连接于外机壳(1)上且可沿外机壳(1)进行横向移动，所述的工作台(4)上具有中空的集屑腔(5)，所述的集屑腔(5)内设置有可抽拉的用于收集废料的集屑板(6)。

2.根据权利要求1所述的带有集屑工作台的磁控溅射真空镀膜机，其特征在于，所述工作台(4)的上表面上开设有供废屑掉落至集屑板(6)上的上开孔(7)。

3.根据权利要求1所述的带有集屑工作台的磁控溅射真空镀膜机，其特征在于，所述工作台(4)与外机壳(1)的底部之间具有冷却腔室(8)，所述外机壳(1)的底端设置有吹风装置(9)，所述吹风装置(9)的出风口朝向工作台(4)的下表面。

4.根据权利要求3所述的带有集屑工作台的磁控溅射真空镀膜机，其特征在于，所述工作台(4)的下表面上开设有连通冷却腔室(8)与集屑板(6)的下开孔(10)。

5.根据权利要求1所述的带有集屑工作台的磁控溅射真空镀膜机，其特征在于，所述工作台(4)的两端架设于外机壳(1)的内端部上，所述外机壳(1)上设置有与工作台(4)一端连接的驱动结构(11)，工作台(4)的另一端与外机壳(1)之间连接有若干个导向结构(12)。

6.根据权利要求5所述的带有集屑工作台的磁控溅射真空镀膜机，其特征在于，所述的外机壳(1)上开设有用于容纳导向结构(12)的排槽(13)，若干所述的导向结构(12)均匀排列于排槽(13)中。

7.根据权利要求6所述的带有集屑工作台的磁控溅射真空镀膜机，其特征在于，所述的导向结构(12)包括导向轮(14)以及连接导向轮(14)与外机壳(1)的转轴(15)，所述的导向轮(14)容纳于排槽(13)中可沿工作台(4)的运动方向滚动。

8.根据权利要求5所述的带有集屑工作台的磁控溅射真空镀膜机，其特征在于，所述的驱动结构(11)包括固定于外机壳(1)上的驱动器(16)，所述的驱动器(16)与工作台(4)之间连接有传动组件(17)。

9.根据权利要求8所述的带有集屑工作台的磁控溅射真空镀膜机，其特征在于，所述的传动组件(17)包括由驱动器(16)驱动连接的链轮结构(18)以及与链轮结构(18)相配合的连接板套(19)，所述的连接板套(19)固连于工作台(4)上。

10.根据权利要求9所述的带有集屑工作台的磁控溅射真空镀膜机，其特征在于，所述的链轮结构(18)包括由驱动器(16)驱动连接的主链轮(20)与副链轮(21)，所述的主链轮(20)与副链轮(21)之间连接有链条(22)。