[实用新型]一种夹紧环部件喷砂保护装置

说明书

本实用新型涉及一种夹紧环部件喷砂保护装置，在夹紧环部件被喷砂时，与内圆面进行匹配，具有保护面板以及设置在保护面板侧端面的多个卡锁。其中，保护面板呈圆形，外径与夹紧环部件的内径相同，厚度与夹紧环部件的厚度相同；多个卡锁在侧端面上沿周向间隔设置，且尺寸不完全相同。一方面，保护面板外径与夹紧环部件的内径相同，厚度也相同，使用时，插入至夹紧环部件的中间漏空部分，与内圆面相贴合，实现了非喷砂区域的完全遮盖；另一方面，卡锁尺寸与夹紧环部件自身设置的凹槽相匹配，插入至凹槽内，并通过夹紧环部件上的螺纹孔由螺丝固定，实现保护装置在夹紧环部件上的固定安装，避免在喷砂过程中产生晃动。

技术领域

本实用新型属于喷砂辅助技术领域，具体涉及一种半导体夹紧环部件粗糙度加工过程中的喷砂保护装置。

背景技术

因对夹紧环(clamp ring)部件表面有粗糙度要求，需要对夹紧环部件表面进行喷砂处理。现有操作中，对洗净再生中的夹紧环部件进行喷砂遮蔽保护时，通常采用粘贴胶带的方式对夹紧环部件的非喷砂区域进行保护。该种操作方式缺陷明显：(1)手工使用胶带保护区域边缘不齐整，且胶带无法重复利用，增加生产成本；(2)喷砂操作压力过大容易造成胶带破损，喷砂面产生印迹，且喷砂边缘容易产生毛刺，用胶带保护后会有残胶留在表面，造成不良。

实用新型内容

本实用新型是为解决上述技术问题进行的，基于夹紧环部件的结构，设计了一种夹紧环部件喷砂保护装置，在夹紧环再生清洗过程中，对其内圆非喷砂区域进行保护。为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案如下：

本实用新型提供的喷砂保护装置，在夹紧环部件被喷砂时，与内圆面进行匹配，具有保护面板以及设置在保护面板侧端面的多个卡锁。其中，保护面板呈圆形，外径与夹紧环部件的内径相同，厚度与夹紧环部件的厚度相同；多个卡锁在侧端面上沿周向间隔设置，且尺寸不完全相同。

本实用新型中，保护面板尺寸与夹紧环部件的内圆相匹配，将内圆面遮盖住；卡锁尺寸与夹紧环部件自身设置的凹槽相匹配，插入至凹槽内，并通过夹紧环部件上的螺纹孔由螺丝固定，实现保护装置在夹紧环部件上的固定安装，避免在喷砂过程中产生晃动。

优选的，在本实用新型提供的夹紧环部件喷砂保护装置中，保护面板的顶端面上设置有T型把手。

优选的，在本实用新型提供的夹紧环部件喷砂保护装置中，卡锁共六个，包括两个大卡锁以及四个小卡锁，两个大卡锁对称设置，四个小卡锁对称设置，卡锁尺寸根据夹紧环部件上凹槽的尺寸设计。

优选的，在本实用新型提供的夹紧环部件喷砂保护装置中，六个卡锁在保护面板侧端面上均匀设置，相邻两个卡锁中心线的夹角为60°，实现保护面板在夹紧环部件上的均匀固定受力。

优选的，在本实用新型提供的夹紧环部件喷砂保护装置中，六个卡锁垂直设置在保护面板的侧端面上。

优选的，在本实用新型提供的夹紧环部件喷砂保护装置中，保护面板及卡锁均采用不锈钢制成。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型提供的喷砂保护装置，一方面，保护面板外径与夹紧环部件的内径相同，厚度与夹紧环部件的厚度相同，使用时，插入至夹紧环部件的中间漏空部分，与内圆面相贴合，实现了非喷砂区域的完全遮盖；另一方面，多个卡锁在侧端面上沿周向间隔设置，且尺寸不完全相同，卡锁尺寸与夹紧环部件自身设置的凹槽相匹配，插入至凹槽内，并通过夹紧环部件上的螺纹孔由螺丝固定，实现保护装置在夹紧环部件上的固定安装，避免在喷砂过程中产生晃动。

因此，通过高精度加工制作，本实用新型提供的喷砂保护装置相对于手工胶带保护能够大幅度提高喷砂范围的精度。与现有技术相比，由于是治具保护，对于被保护的不锈钢部件表面不会留下残胶，污垢等副产物，洗净喷砂遮蔽保护治具可以重复利用，可代替手工胶带遮蔽部件的非喷砂区域，具有使用方便，精度高，可重复使用及节省人力及物料成本的优点。

附图说明