[实用新型]一种阵列用涂胶显影装置有效
申请号: | 202022011676.4 | 申请日: | 2020-09-15 |
公开(公告)号: | CN213210717U | 公开(公告)日: | 2021-05-14 |
发明(设计)人: | 张军区;杜国强;董金良 | 申请(专利权)人: | 无锡环亚微电子有限公司 |
主分类号: | G03F7/16 | 分类号: | G03F7/16;G03F7/30 |
代理公司: | 南京北辰联和知识产权代理有限公司 32350 | 代理人: | 王俊 |
地址: | 214000 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 阵列 涂胶 显影 装置 | ||
1.一种阵列用涂胶显影装置,包括机床(1),其主要特征在于,所述机床(1)的内部固定安装有电机(2),所述电机(2)的正面转动连接有转轴一(3),所述转轴一(3)的外壁固定连接有齿轮一(4),所述齿轮一(4)的外壁活动连接有皮带一(5),所述皮带一(5)的内壁左侧活动连接有齿轮二(6),所述齿轮二(6)的背面固定连接有齿轮三(7),所述齿轮三(7)的背面固定连接有滚轮一(8),所述齿轮三(7)的外壁活动连接有皮带二(9),所述机床(1)的上表面固定连接有壳体(10),所述壳体(10)的左侧面固定连接有固定架(11),所述固定架(11)的内部嵌入设置有转轴二(12),所述转轴二(12)的外壁转动连接有滚轮二(13),所述壳体(10)的内部固定安装有箱体(14),所述箱体(14)的右侧面固定连接有加热器(15),所述滚轮一(8)的外壁固定连接有套环(16),所述箱体(14)的下表面固定连接有输料管道(17),所述输料管道(17)的外壁转动连接有腔体(18),所述腔体(18)的外壁固定连接有毛刷(19)。
2.根据权利要求1所述的一种阵列用涂胶显影装置,其特征在于:所述输料管道(17)的外壁开设有孔洞,且孔洞与腔体(18)外壁开设的孔洞一致。
3.根据权利要求1所述的一种阵列用涂胶显影装置,其特征在于:所述套环(16)的直径大于滚轮一(8)的直径,且所述套环(16)与滚轮一(8)固定时呈“H”形。
4.根据权利要求1所述的一种阵列用涂胶显影装置,其特征在于:所述套环(16)两个为一对,且所述套环(16)之间的距离等于滚轮二(13)和毛刷(19)的宽度。
5.根据权利要求1所述的一种阵列用涂胶显影装置,其特征在于:所述滚轮二(13)的外壁设置有绒毛,绒毛包裹滚轮二(13)的外壁。
6.根据权利要求1所述的一种阵列用涂胶显影装置,其特征在于:所述滚轮一(8)与毛刷(19)之间留有空隙,空隙的高度等于材料的厚度。
7.根据权利要求1所述的一种阵列用涂胶显影装置,其特征在于:所述滚轮一(8)与加热器(15)之间留有空隙,空隙的高度大于材料的厚度。
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