[实用新型]一种用于曝光机照度自动调节装置

说明书

本实用新型属于曝光机技术领域，尤其是一种用于曝光机照度自动调节装置，针对现有的曝光机照度自动调节装置没有很好的保护外壳和不能够大致调节照度的问题，现提出如下方案，其包括箱体，所述箱体的底部内部四角均固定连接有滑管，所述滑管内滑动连接有滑杆，四个所述滑杆的顶部连接有同一个安装板，所述箱体设置有驱动安装板升降的升降组件，所述安装板内开设有第一凹槽，本实用新型操作简单，将曝光机密封在箱体内，保护其受到外界的损坏，减少灰尘的落入，从而延长了曝光机的使用寿命，且在曝光度调节方面当照度相差过大时，能够初步大致的调节，不需要移动设备，节省了工作人员的工作量。

技术领域

本实用新型涉及曝光机技术领域，尤其涉及一种用于曝光机照度自动调节装置。

背景技术

在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光，受电子束辐照后的光刻胶，其物理化学性质发生变化，在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域，从而在抗蚀剂上形成精细图形。曝光机即电子束曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备。

公告号为CN101435999A的发明公开了一种噪光机照度目动调节装置，包括:驱动第二驱动装置移动到待调节照度的照度调节旋钮处的第一驱动装置、驱动第三驱动装置与照度调节旋钮连接的第二驱动装置和调节所述照度调节旋钮的第三驱动装置依次连接并分别与输出控制信息的控制器连接，控制器与定位传感器连接。本发明还涉及另一种曝光机照度自动调节装置，包括分别第二驱动装置和第三驱动装置彼此连接并分别与控制器连，第二驱动装置、第三驱动装置和照度调节旋钮精确对位。本发明实现了曝光机照度的自动调节，简化了照度调节程序，提高了照度调节的精度，在照度自动调节过程中，不会对曝光机主体内的工作环境造成影响，便于维护曝光机，延长曝光机的使用寿命。

该发明整体装置没有一个好的保护外壳，长时间的的暴露在外面会受到外界的损坏，且会有大量的灰尘落在上面，从而缩短曝光机的使用寿命，且在曝光度调节方面当照度相差过大时，不能够初步大致的调节，需要移动设备，这样操作起来比价的麻烦。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在没有很好的保护外壳和不能够大致调节照度的缺点，而提出的一种用于曝光机照度自动调节装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种用于曝光机照度自动调节装置，包括箱体，所述箱体的底部内部四角均固定连接有滑管，所述滑管内滑动连接有滑杆，四个所述滑杆的顶部连接有同一个安装板，所述箱体设置有驱动安装板升降的升降组件，所述安装板内开设有第一凹槽，所述安装板的顶部滑动连接有曝光机，所述第一凹槽内设置有推动曝光机滑动的动力组件，所述箱体的顶部固定开设有通孔，所述箱体的顶部设置有对通孔密封的密封组件。

优选地，所述升降组件包括箱体底部内壁对称固定连接的空心管，所述空心管内滑动连接有齿轮轴，所述齿轮轴的顶部和安装板的底部固定连接，所述箱体内设置有驱动齿轮轴升降的驱动组件。

优选地，所述驱动组件包括箱体底部内壁对称固定连接的支撑杆，两个所述支撑杆相互靠近的一侧转动连接有转动辊，所述转动辊的外壁对称固定套设有第一齿轮，所述空心管的外壁开设有第二条形孔，两个所述第一齿轮通过第二条形孔和两个齿轮轴分别相啮合，所述转动辊的一端贯穿其中一个支撑杆并延伸到支撑杆的一侧，所述转动辊的外壁固定套设有第二皮带轮，所述箱体的底部固定设置有第一电动机，所述第一电动机的输出轴固定套设有第一皮带轮，所述第一皮带轮和第二皮带轮套设有同一个皮带。