[实用新型]一种半导体基板盒夹紧机构有效
| 申请号： | 202022018363.1 | 申请日： | 2020-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN212625535U | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 林知微;郭宵 | 申请（专利权）人： | 哈本自动化技术（江苏）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687 |
| 代理公司： | 成都方圆聿联专利代理事务所(普通合伙) 51241 | 代理人： | 苟铭 |
| 地址： | 225009 江苏省扬州市经济开发区扬*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 基板盒 夹紧 机构 | ||
1.一种半导体基板盒夹紧机构，其特征在于：包括支撑板(1)、盖板(2)、右夹板(3)、左夹板(4)、挡板(5)、齿轮组(6)；
所述的右夹板(3)、左夹板(4)位于支撑板(1)左右相对的一对侧边上，挡板(5)位于后侧边上；
所述的挡板(5)内侧面垂直连接有挡板齿轮条支腿(51)；
所述的右夹板(3)内侧面垂直连接有右夹板齿轮条支腿(32)；
所述的左夹板(4)内侧面垂直连接有左夹板齿轮条支腿(42)；
支撑板(1)上设有挡板滑槽(12)、右侧滑槽(13)和左侧滑槽(16)，右侧滑槽(13)和左侧滑槽(16)相互平行，挡板滑槽(12)和右侧滑槽(13)相互垂直，挡板滑槽(12)、右侧滑槽(13)和左侧滑槽(16)上下错开；
所述挡板齿轮条支腿(51)沿着挡板滑槽(12)移动，挡板(5)移动方向垂直于挡板(5)所在的支撑板(1)后侧边；
所述右夹板齿轮条支腿(32)沿着右侧滑槽(13)移动；
所述左夹板齿轮条支腿(42)沿着左侧滑槽(16)移动；
挡板滑槽(12)、右侧滑槽(13)和左侧滑槽(16)上均设有齿轮槽(17)，齿轮槽(17)内设有齿轮组(6)，所述的挡板齿轮条支腿(51)、右夹板齿轮条支腿(32)、左夹板齿轮条支腿(42)分别与齿轮组(6)对应的齿轮啮合形成同步传动机构。
2.根据权利要求1所述的一种半导体基板盒夹紧机构，其特征在于：所述的右夹板(3)内侧面还垂直连接右夹板支腿(31)，所述的左夹板(4)内侧面还垂直连接左夹板支腿(41)；对应的支撑板(1)上还设有右侧辅助滑槽(14)和左侧辅助滑槽(15)，右夹板支腿(31)在右侧辅助滑槽(14)形成滑动副，左夹板支腿(41)在左侧辅助滑槽(15)形成滑动副。
3.根据权利要求1或2所述的一种半导体基板盒夹紧机构，其特征在于：所述的挡板齿轮条支腿(51)上设有挡板限位孔(52)所述的挡板滑槽(12)内设有定位块(11)，与对挡板限位孔(52)相对。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
