[实用新型]一种核应急高压二氧化碳洗消装置有效
申请号: | 202022018838.7 | 申请日: | 2020-09-15 |
公开(公告)号: | CN213793250U | 公开(公告)日: | 2021-07-27 |
发明(设计)人: | 韩涛 | 申请(专利权)人: | 绵阳市恒通机电设备有限公司 |
主分类号: | B08B7/00 | 分类号: | B08B7/00;B08B13/00;H01L21/67 |
代理公司: | 成都时誉知识产权代理事务所(普通合伙) 51250 | 代理人: | 田高洁 |
地址: | 621000 四川省绵阳市绵*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 应急 高压 二氧化碳 装置 | ||
本实用新型涉及二氧化碳清洗技术领域,目的是提供一种核应急高压二氧化碳洗消装置,包括有喷射头、加压单元、干冰制造单元、控制台和移动单元,所述喷射头通过加压单元与干冰制造单元连接,所述控制台通过移动单元与所述喷射头连接,所述移动单元包括有滑轨和固定夹,所述固定夹的一端连接有喷射头,所述喷射头底部设置有凸柱,所述固定夹的两端设置有凹槽,所述固定夹通过凹槽与所述滑轨滑动连接,所述滑轨的底部平行设置有若干限位槽,所述控制台包括有定时单元和夹持柱,所述夹持柱的底部与所述控制台固定连接,所述夹持柱上还设置有扭紧螺栓和内螺纹孔,所述扭紧螺钉与所述内螺纹孔螺纹连接。
技术领域
本实用新型涉及二氧化碳清洗技术领域,具体涉及一种核应急高压二氧化碳洗消装置。
背景技术
喷射器包含许多小直径的固体二氧化碳颗粒被称为雪的二氧化碳颗粒撞击表面并去除粘附的颗粒(甚至亚微米尺寸),碳氢化合物污渍,如指纹和鼻印,以及硅脂。实际上,清洁晶圆表面的二氧化碳雪清洁导致了不定碳氢化合物的大量减少;在一个案例中,减少约60%。清洁和污染的硅晶片的表面分析表明,二氧化碳雪清洁不会导致明显的化学相互作用,也不会留下可检测到的残留物。通过溶剂清洗,氧等离子体或氩离子溅射可以减少表面上的大量烃残留物。但是,在某些情况下,这些清洁程序可能会留下额外的残留物或去除感兴趣的元素或化合物。
通过高压二氧化碳清洗装置对物体进行清洗,效率高,操作方便,无需人工检测表面清洗度,自动定时监测。
实用新型内容
本实用新型目的在于提供一种核应急高压二氧化碳洗消装置,能够通过转动喷射头对喷射头进行固定,通过滑轨进行移动,便于用户操作,通过定时器便于控制洗消时间,本实用新型结构合理,设计巧妙,适合推广;
本实用新型所采用的技术方案是:一种核应急高压二氧化碳洗消装置,包括有喷射头、加压单元、干冰制造单元、控制台和移动单元,所述喷射头通过加压单元与干冰制造单元连接,所述控制台通过移动单元与所述喷射头连接,所述移动单元包括有滑轨和固定夹,所述固定夹的一端连接有喷射头,所述喷射头底部设置有凸柱,所述固定夹的两端设置有凹槽,所述固定夹通过凹槽与所述滑轨滑动连接,所述滑轨的底部平行设置有若干限位槽,所述控制台包括有定时单元和夹持柱,所述夹持柱的底部与所述控制台固定连接,所述夹持部上还设置有扭紧螺钉和内螺纹孔,所述扭紧螺钉与所述内螺纹孔螺纹连接。
优选的,所述喷射头选用CCP-01雪花清洗系统的喷嘴型号为JN-23。
优选的,所述干冰制造单元为二氧化碳集装格。
优选的,所述喷射头底部还设置有底座,所述喷射头通过底座与所述固定夹铰接。
优选的,所述限位槽的大小与所述凸柱的大小适配。
优选的,所述定时单元的信号为定时器KG3028。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果为:
1.用户根据需求移动喷射头距离夹持柱的远近,通过凸柱与限位槽抵接固定喷射头;
附图说明
图1为一种核应急高压二氧化碳洗消装置的关系图;
附图标记说明:1、滑轨;2、控制台;3、干冰制造单元;4、扭紧螺栓;5、限位槽;6、夹持柱;7、喷射头。
具体实施方式
下面结合本实用新型的附图1,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施。
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