[实用新型]一种真空腔体超低温水汽吸附系统

说明书

本实用新型涉及真空溅镀机辅助设备领域，尤其涉及一种真空腔体超低温水汽吸附系统，包括溅镀线体和吸附组件，所述溅镀线体根据溅镀工艺，依次设置腔体闸门、粗抽腔体、高真空腔体、进料缓冲腔体、转接腔体、镀区腔体和出料缓冲腔体；所述吸附组件包括冷媒入口端、冷媒出口端、高真空段冷媒管和溅镀段冷媒管；采用本实用新型，高真空腔体中的高真空冷媒管进行初步吸附，再配合多腔体延伸溅镀段冷媒管的高效吸附水气，实现双重回流管路，同一冷媒源，实现高效利用，提高水气吸附效率；冷媒出入口的位置优化，也进一步的提高优先吸附能力，保证溅镀腔体内部的正常运作。

技术领域

本实用新型涉及真空溅镀机辅助设备领域，尤其涉及一种真空腔体超低温水汽吸附系统。

背景技术

真空镀膜系统在抽气过程中为提升镀膜质量；增加抽气速率。会以超低温水气吸附系统去降低腔体内部空气中水气含量。

连续式真空镀膜设备各节腔体之间有真空闸门作隔断，所以吸附水气用的冷冻界面，必须在各个腔体独立作设置，再以真空法兰将冷冻管向大气侧穿出，再到下一个腔体的法兰再作进入与内部的冷冻界面进行串连。

冷冻界面设置的位置，以镀膜腔体区段为主，向前后沿伸1～2节腔体布健，作为水气的主要吸附区段。

连续式溅镀线入出料动作为，台车进入到第一节入料段真空腔体，经过初级真空减压到一个压力值，将真空闸门开启；台车进入下一节腔体，准备进行高真空的抽气，此时在高真空度的负压环境，腔体内部的残留杂气及被镀工件表面所吸附的水气，会开始慢慢被真空泵抽除。高真空抽气过程，通常要持续一段时间，以有效抽除干净，因此溅镀线为了缩短入料时间，通常会设计多节式的高真空腔体段作为一个抽气传送段，以增加工件在高真空环境下的水气/杂气抽气时间。

当上下料作业区环境湿度偏高时，会有大量的水气分子会随着被镀工件经由腔体入口一同进入到设备线内，由于入料前段的腔体属于经常与大气接触的腔体，不适合设置冷冻界面进行水气吸附，因此在 24小时生产的情况下，第二节衔接在进行高真空抽气时，就会有一定量的水气会被高真空泵(例涡轮分子泵或油扩散泵)经由管路抽到负责最终排气的油式前级泵内，造成前级泵内部储油室容易积存大量的水气，若没有及时排出就容易导致前级泵真空油的白色乳化，使前级真空泵失去抽气作用进而影响到高真空泵的抽气效能，甚至是造成故障。

实用新型内容

本实用新型目的是在于提供一种结构简单，隧道罩覆，防尘防污的降温设备。

一种真空腔体超低温水汽吸附系统，包括溅镀线体和吸附组件，所述溅镀线体根据溅镀工艺，依次设置腔体闸门、粗抽腔体、高真空腔体、进料缓冲腔体、转接腔体、镀区腔体和出料缓冲腔体；所述吸附组件包括冷媒入口端、冷媒出口端、高真空段冷媒管和溅镀段冷媒管；

所述高真空段冷媒管设置在高真空腔体的腔体内壁上，所述溅镀段冷媒管贯通设置在进料缓冲腔体，转接腔体，镀区腔体和出料缓冲腔体的内壁上；所述高真空腔体和进料缓冲腔体上均设置有冷媒管连接头。

进一步的，所述高真空段冷媒管和溅镀段冷媒管之间通过串接冷媒管连接，所述串接冷媒管连接分别设置在高真空腔体和进料缓冲腔体上的冷媒管连接头。

进一步的，所述冷媒入口端通过进料缓冲腔体上的冷媒管连接头接入溅镀段冷媒管，所述冷媒出口端通过高真空腔体上的冷媒管连接头接入高真空段冷媒管。

进一步的，所述高真空段冷媒管，溅镀段冷媒管，以及冷媒管连接头均设置在溅镀线体的同侧。

本实用新型的有益效果是：