[实用新型]一种实现自动翻面的行星样品台

权利要求书

1.一种实现自动翻面的行星样品台，包括支架(1)，其特征在于：所述支架(1)内设置有加热区域(11)，所述加热区域(11)包括中心转轴(12)和若干个加热部(13)，所述中心转轴(12)两端分别开设有U型槽(121)，所述支架(1)顶部开设有通孔(14)，所述通孔(14)内固定连接有外升降管(2)，所述外升降管(2)内上下滑动连接有内升降管(21)，所述内升降管(21)向下延伸出所述外升降管(2)，并且固定连接有加热盘(3)，用以对基片加热，所述加热盘(3)上开设有圆孔(31)，所述圆孔(31)与所述内升降管(21)连通，所述内升降管(21)内转动连接有旋转轴(22)，所述旋转轴(22)靠近所述加热盘(3)的一端设置有缓冲部(4)，所述缓冲部(4)包括驱动头(41)，所述驱动头(41)底部固定连接有U型块(42)，所述U型块(42)与所述U型槽(121)相适配，所述外升降管(2)外侧设置有台架(23)，所述台架(23)上设置有第一升降组件(5)，所述第一升降组件(5)用以带动所述外升降管(2)升降，所述第一升降组件(5)包括第一升降板(51)，所述第一升降板(51)与所述外升降管(2)远离所述加热盘(3)的一端固定连接，所述升降板上设置有第二升降组件(6)，所述第二升降组件(6)用以带动所述旋转轴(22)升降，所述第二升降组件(6)包括第二升降板(61)，所述第二升降板(61)上设置有旋转组件(7)，所述旋转组件(7)用以带动所述旋转轴(22)转动，以使所述加热部(13)移动，所述台架(23)上设置有翻转组件(8)，以使所述加热区域(11)翻转。

2.根据权利要求1所述的一种实现自动翻面的行星样品台，其特征在于：所述加热部(13)绕所述中心转轴(12)圆周运动。

3.根据权利要求2所述的一种实现自动翻面的行星样品台，其特征在于：所述加热部(13)包括第一齿环(131)，所述中心转轴(12)上固定连接有第一齿轮(122)，所述第一齿环(131)均与所述第一齿轮(122)外圈啮合，所述加热区域(11) 还包括两个固定环(111)、旋转块(112)和第二齿环(113)，所述支架(1)相对的两侧分别转动连接有所述旋转块(112)，所述固定环(111)固定连接在两个所述旋转块(112)之间，所述第二齿环(113)固定连接在两个所述固定环(111)之间，所述第一齿环(131)外圈均与所述第二齿环(113)内圈啮合，所述中心转轴(12)与所述固定环(111)转动连接。

4.根据权利要求1所述的一种实现自动翻面的行星样品台，其特征在于：所述第一升降板(51)与所述台架(23)之间固定连接有第一波纹管(15)，所述第一升降板(51)与所述第二升降板(61)之间固定连接有第二波纹管(16)，所述外升降管(2)位于所述第一波纹管(15)内，所述第一波纹管(15)与所述第二波纹管(16)之间连通，所述旋转轴(22)向上延伸出所述第二波纹管(16)。

5.根据权利要求4所述的一种实现自动翻面的行星样品台，其特征在于：所述旋转组件(7)包括旋转电机(71)，所述第二升降板(61)上固定连接有空心轴磁流体密封装置(72)，所述空心轴磁流体密封装置(72)顶部固定连接有安装板(73)，所述旋转电机(71)固定连接在所述安装板(73)上，所述旋转轴(22)向上延伸出所述安装板(73)，所述旋转轴(22)与所述旋转电机(71)输出轴之间设置有皮带传动机构(74)。

6.根据权利要求3所述的一种实现自动翻面的行星样品台，其特征在于：所述第一升降组件(5)包括第一平板(56)和第一升降电机(52)，所述第一平板(56)与所述台架(23)之间固定连接有两根第一竖杆(53)，所述第一平板(56)与所述台架(23)之间转动连接有第一螺纹杆(54)，所述第一升降板(51)与所述第一竖杆(53)滑动连接，并与所述第一螺纹杆(54)螺纹连接，所述第一升降电机(52)固定连接在所述台架(23)上，所述台架(23)上设置有齿轮组(55)，所述第一升降电机(52)通过所述齿轮组(55)带动所述第一螺纹杆(54)转动。