[实用新型]一种管式加热炉体结构

说明书

本实用新型公开了一种管式加热炉体结构，涉及半导体、太阳能电池的烧结设备。本实用新型包括外壳、外部保温层、内部保温层、和加热丝，还包括用于固定加热丝的若干陶瓷块组，陶瓷块组包括多个组合陶瓷块，多个组合陶瓷块沿周向均匀卡在加热丝；组合陶瓷块包括相互配合的间隙陶瓷块和保持陶瓷块；间隙陶瓷块和保持陶瓷块均设置在加热丝的两根炉丝之间；间隙陶瓷块的两侧设置有与加热丝配合的槽道一，保持陶瓷块的两侧设置有与加热丝配合的槽道二。本实用新型通过结构不同的间隙陶瓷块和保持陶瓷块的设置，避免加热丝受热膨胀时被陶瓷块进行挤压变形，造成加热丝或者陶瓷块损坏，以及导致炉体内部短路，延长了加热炉丝的使用寿命。

技术领域

本实用新型属于半导体、太阳能电池的烧结设备技术领域，特别是涉及一种管式加热炉体结构。

背景技术

现有的管式加热炉体主要包括外壳、部保温层、内部保温层、加热丝和绝缘子组，如中国授权公开号CN 210533046U，公开了一种管式加热炉体结构，包括炉壳、外部保温层、内保温层、加热炉丝和绝缘子组，绝缘子组包括多个绝缘子，多个绝缘子沿周向均匀卡在加热炉丝上，外部保温层套于绝缘子外，炉壳套于外部保温层外，外部保温层与加热炉丝之间设有环形间隙，多个绝缘子将环形间隙分割成多个弧形区，内保温层包括多个弧形保温层块，弧形保温层块与弧形区一一应，且弧形保温层块位于弧形区内，弧形保温层块为硬性定型结构。石英炉管(图中未示出)置于陶瓷块上，石英炉管为工艺过程提供了一个真空或者低压或者常压反应腔体，半导体、太阳能电池行业等设备的镀膜、扩散、氧化、退火工艺都在其内部完成。

这种炉体结构会存在如下问题：

(1)现有管状加热炉体的绝缘子大多数由单一结构陶瓷块重复安装组成；采用单一预留间隙结构的陶瓷块重复安装，在加热炉生产制作过程中加热丝则会在间隙结构中来回摆动，整组陶瓷块也会由于存在间隙在制作过程中被挤压引起内径的无规则变化，从而影响整个炉体的装配精度；

(2)根据工艺温度的不同，当加热丝温度升高时，由于加热丝的金属材质存在一定的膨胀系数，加热丝的长度会进行膨胀，由于加热炉内部加热丝为绕圈结构，会使加热丝在径向方向产生直径变大的形变。由单一陶瓷块安装组成的绝缘结构在加热丝产生径向膨胀时无法留出膨胀间隙，导致陶瓷块挤压加热丝，易造成加热丝形变和陶瓷块损坏，形变量过大或者绝缘陶瓷块损坏还易造成整个加热炉体短路烧毁。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种管式加热炉体结构，以解决上述背景技术提出的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本实用新型为一种管式加热炉体结构，包括外壳、外部保温层、内部保温层、和加热丝，还包括用于固定加热丝的若干陶瓷块组，所述陶瓷块组包括多个组合陶瓷块，多个所述组合陶瓷块沿周向均匀卡在加热丝；所述组合陶瓷块包括相互配合的间隙陶瓷块和保持陶瓷块；所述间隙陶瓷块和保持陶瓷块均设置在加热丝的两根炉丝之间；

其中，所述间隙陶瓷块的两侧设置有与加热丝配合的槽道一，所述保持陶瓷块的两侧设置有与加热丝配合的槽道二；所述槽道二呈半圆形结构；所述槽道一呈矩形结构，其两侧设置与加热丝配合的弧形倒角。

进一步地，所述外部保温层套设组合陶瓷块外，所述外壳套于外部保温层外，所述加热丝和外部保温层之间形成环形间隙，多个所述组合陶瓷块将环形间隙分割成多个弧形的内部保温层。

进一步地，所述外部保温层为软性或者硬性定型结构。

进一步地，所述外部保温层为硅酸铝纤维材质。

进一步地，所述内部保温层成圆弧形状结构，其为硅酸铝纤维材质或者无机纤维材料材质。

进一步地，所述外壳为不锈钢材质，所述加热丝铁铬铝合金材质或者镍铬合金材质。