[实用新型]一种用于真空蒸发设备的散热装置

说明书

本实用新型公开了一种用于真空蒸发设备的散热装置，包括底座和散热壳体，所述底座的上表面固定安装有散热壳体，所述散热壳体的内壁固定连接有散热鳍片，所述散热壳体的内底壁固定安装有冷却风扇，所述散热壳体的内部设置有S型冷凝管，所述S型冷凝管的一端固定连接有倒流管。本实用新型通过S型冷凝管缠绕在真空蒸发设备的外表面对其外壁进行降温，通过散热鳍片将热量吸取进一步进行散热，通过通风支撑板对真空蒸发设备进行支撑并将冷却风扇工作时产生的冷风传导至真空蒸发设备的表面对其进行降温，通过双重降温增加对真空蒸发设备的降温效率，避免真空腔体内部温度过高，导致真空腔体内部的机械结构发生形变，进一步提高产品质量。

技术领域

本实用新型涉及真空蒸发设备散热处理技术领域，具体为一种用于真空蒸发设备的散热装置。

背景技术

真空蒸发是在真空下进行的蒸发操作，真空蒸发的特点是，在低压下溶液的沸点降低且用较少的蒸汽蒸发大量的水分；真空蒸发设备包括降膜式蒸发机和真空镀膜机等设备，真空镀膜是指在真空环境下，将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到材料表面(通常是非金属材料)，属于物理气相沉积工艺，真空镀膜技术广泛应用到电子、宇航、包装、光伏等技术领域，当利用真空腔体在基片上对某种材料进行真空镀膜时，往往由于沉积反应或工艺要求，需要对基片进行高温加热，加热过程导致真空腔体内部温度过高，长期受热则会使真空腔体内部的机械结构发生形变，从而使真空腔体的功能失效，且现有的真空镀膜机散热较多采用自然冷却，效果较差，冷却不及时，很容易导致真空镀膜机因为温度过高而损坏，因此，现在需要一种能解决上述问题的用于真空蒸发设备的散热装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于真空蒸发设备的散热装置以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于真空蒸发设备的散热装置，包括底座和散热壳体，所述底座的上表面固定安装有散热壳体，所述散热壳体的内壁固定连接有散热鳍片，所述散热壳体的内底壁固定安装有冷却风扇，所述散热壳体的内部位于冷却风扇的上方固定安装有通风支撑板，所述散热壳体的内部位于散热鳍片的一侧设置有S型冷凝管，所述底座的上表面位于散热壳体的一侧固定安装有制冷箱，所述制冷箱的一侧固定安装有储液箱，所述储液箱的顶部固定安装有水泵，所述S型冷凝管的一端固定连接有一端贯穿至储液箱的侧壁并延伸至其内部的倒流管。

优选的，所述散热壳体的表面设置有散热口，所述散热口的内部设置有防尘网。

优选的，所述散热壳体的外表面设置有控制面板，所述散热壳体的内侧壁设置有温度感应器，所述控制面板与温度感应器电性连接。

优选的，所述水泵的输出端固定连接有一端贯穿至储液箱内部的吸管，所述水泵的输入端固定连接有导管，所述导管的端部与制冷箱的顶部固定连接。

优选的，所述S型冷凝管的一端固定连接有连接法兰，所述S型冷凝管通过连接法兰与倒流管固定连接。

优选的，所述储液箱的一侧固定连接有加液管，所述散热壳体的一侧固定连接有固定架，所述固定架的表面设置有固定孔，所述固定孔的内壁固定连接有橡胶垫，所述倒流管的表面位于固定孔的内部。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过S型冷凝管缠绕在真空蒸发设备的外表面对其外壁进行降温，通过散热鳍片将热量吸取进一步进行散热，冷却风扇工作时产生冷风，通过通风支撑板对真空蒸发设备进行支撑并将冷却风扇工作时产生的冷风传导至真空蒸发设备的表面对其进行降温，通过双重降温增加对真空蒸发设备的降温效率，避免真空腔体内部温度过高，导致真空腔体内部的机械结构发生形变，进一步提高产品质量。

2、本实用新型通过倒流管将使用过的冷却液倒流至储液箱的内部，进行循环使用，节约生产成本，避免资源浪费，通过温度感应器对散热壳体内部温度和真空蒸发设备表面温度进行感应，并传导至控制面板，便于工作人员根据温度对装置的工作状态进行实时调控。