[实用新型]一种磁控溅射设备的换样片装置

说明书

本实用新型公开了一种磁控溅射设备的换样片装置，包括设备主体，设备主体的内侧壁固定连接第一伸缩杆，移动板的一侧固定连接有压力板，设备主体的正面活动连接有拉门，支架的一端固定连接有放置架，放置架的一侧活动连接有样片主体，样片主体的一侧活动连接有卡板，卡板的一侧固定连接有第一弹簧，第一弹簧的一侧固定连接有第一固定板，第一固定杆的一侧活动连接有第二固定杆，第二固定杆的内部活动连接有限位杆，限位杆的一侧固定连接有第二弹簧。本实用新型通过第二弹簧的设置，能够使工人能够对设备的样片进行更换，使工人工作更加轻松便捷，通过第一弹簧的设置，能够使提高设备固定的牢固性，防止出现样片滑落的情况。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体为一种磁控溅射设备的换样片装置。

背景技术

磁控溅射设备是一种利用物理气相沉积法进行真空镀膜的实验仪器，通过电离出的离子轰击靶材，溅射出的靶材原子沉积在基片上制成薄膜，可以制备金属薄膜、半导体薄膜和高聚物薄膜等多种材质的薄膜。

现有设备的换样片装置，较为复杂，不利于工人进行操作，且配合不牢固，易出现样片滑落的情况，而且耗费时间长，易造成样片损伤的情况，因此我们需要一种磁控溅射设备的换样片装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种磁控溅射设备的换样片装置以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种磁控溅射设备的换样片装置，包括设备主体，所述设备主体的内侧壁固定连接第一伸缩杆，所述第一伸缩杆的一端固定连接有移动板，所述移动板的一侧固定连接有压力板，所述设备主体的正面活动连接有拉门，所述拉门的一侧固定连接有支架，所述支架的一端固定连接有放置架，所述放置架的一侧活动连接有样片主体，所述样片主体的一侧活动连接有卡板，所述卡板的一侧固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧的一侧固定连接有第一固定板，所述设备主体的内顶壁固定连接有第一固定杆，所述第一固定杆的一侧活动连接有第二固定杆，所述第二固定杆的内部活动连接有限位杆，所述限位杆的一侧固定连接有第二弹簧。

优选的，所述第二弹簧的一侧固定连接有弹簧套，所述弹簧套与设备主体的内顶壁固定连接。

优选的，所述限位杆的一端固定连接有第一把手，所述限位杆的另一端活动连接有限位块。

优选的，所述移动板的两端均活动连接有第一滑槽，所述第一滑槽与设备主体的内顶壁固定连接。

优选的，所述卡板的一端活动连接有第二滑槽，所述第二滑槽与放置架的内侧壁固定连接。

优选的，所述第一弹簧的内部固定连接有第二伸缩杆，所述拉门的正面固定连接有第二把手。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过第二弹簧的设置，能够使限位杆对第二固定杆进行固定，当工人拉动限位杆时，第二固定杆能够拉出第一固定杆外，方便拉门打开，同时使工人能够对设备的样片进行更换，提高工作效率，使工人工作更加轻松便捷。

2、本实用新型通过第一弹簧的设置，能够使卡板对样片主体进行安装固定，当压力板对样片主体进行挤压时，卡板通过斜面进行移动，使样片主体能够被挤压，当压力板回收时，第一弹簧能够带动卡板进行复位，提高设备固定的牢固性，防止出现样片滑落的情况，提高设备的使用效果。

附图说明

图1为本实用新型主视结构示意图；

图2为本实用新型侧视结构示意图；

图3为本实用新型图1中A处放大结构示意图；

图4为本实用新型图1中B处放大结构示意图。