[实用新型]一种碳化硅制品端面打磨装置有效

专利信息
申请号: 202022049875.4 申请日: 2020-09-18
公开(公告)号: CN213196795U 公开(公告)日: 2021-05-14
发明(设计)人: 刘欣;蔡祗首;杨涛;郭辉 申请(专利权)人: 惠州市中惠宇航半导体新材料有限公司
主分类号: B24B7/16 分类号: B24B7/16;B24B7/22;B24B27/02;B24B41/06;B24B41/02;B24B47/04
代理公司: 广州市红荔专利代理有限公司 44214 代理人: 余志军
地址: 516000 广东省惠州市仲恺高新区陈*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 碳化硅 制品 端面 打磨 装置
【权利要求书】:

1.一种碳化硅制品端面打磨装置,包括桌架(1),其特征在于,所述桌架(1)一侧滑动设有U型架(2),所述桌架(1)一侧设有若干L型滑孔(3),所述U型架(2)一侧固定设有若干L型滑块(4),所述L型滑块(4)均滑动连接在L型滑孔(3)内侧,所述U型架(2)一侧设有自动精准滑动装置,所述U型架(2)一侧固定设有固定夹板(5),所述U型架(2)一侧滑动设有滑动夹板(6),所述U型架(2)一侧设有若干安装孔,所述安装孔内侧均固定设有气缸(7),所述气缸(7)均需通过气管外接电磁阀,所述气缸(7)的轴端均固定连接在滑动夹板(6)一侧上,所述桌架(1)一侧固定设有固定柱(8),所述固定柱(8)一侧设有H型滑槽(9),所述H型滑槽(9)内侧滑动设有H型滑块(10),所述H型滑槽(9)内一侧设有通孔,所述通孔内侧转动设有螺纹杆(11),所述H型滑块(10)一侧设有螺纹孔,所述螺纹杆(11)通过螺纹传动式连接在螺纹孔内侧,所述螺纹杆(11)一端可转动式连接在H型滑槽(9)内一侧上,所述螺纹杆(11)一端固定设有步进电机(12),所述步进电机(12)需通过导线外接驱动控制器和电源,所述固定柱(8)一侧固定设有电机板(13),所述步进电机(12)固定连接在电机板(13)一侧上,所述H型滑块(10)一侧固定设有L型架(14),所述L型架(14)一侧固定设有电动机(15),所述电动机(15)需通过导线外接电源,所述L型架(14)一侧设有转轴(16),所述电动机(15)与转轴(16)之间设有传动装置,所述转轴(16)外侧转动设有若干连接座(17),所述连接座(17)一侧均固定连接在L型架(14)一侧上,所述转轴(16)外侧固定设有打磨轮(18)。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅制品端面打磨装置,其特征在于,所述自动精准滑动装置包括伺服电机(19),所述伺服电机(19)需通过导线外接驱动控制器和电源,所述伺服电机(19)固定连接在桌架(1)一侧上,所述伺服电机(19)的轴端固定设有第二螺纹杆(20),所述第二螺纹杆(20)外侧转动设有若干支撑座(21),所述支撑座(21)一侧均固定连接在桌架(1)一侧上,所述桌架(1)一侧滑动设有T型带动块(22),所述L型滑块(4)一侧均固定连接在T型带动块(22)一侧上,所述T型带动块(22)一侧设有螺纹传动孔,所述第二螺纹杆(20)通过螺纹传动式连接在螺纹传动孔内侧。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅制品端面打磨装置,其特征在于,所述传动装置包括从动锥齿轮(23),所述从动锥齿轮(23)固定连接在转轴(16)外侧上,所述电动机(15)的轴端固定设有主动锥齿轮(24),所述主动锥齿轮(24)与从动锥齿轮(23)通过啮合传动连接。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅制品端面打磨装置,其特征在于,所述固定夹板(5)、滑动夹板(6)一侧均固定设有防滑保护垫(25)。

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