[实用新型]一种基于LCOS技术的用于AOI检测领域的高亮低成本光路结构有效
申请号: | 202022053471.2 | 申请日: | 2020-09-18 |
公开(公告)号: | CN212779860U | 公开(公告)日: | 2021-03-23 |
发明(设计)人: | 黄国豹;黄万周;徐壹游;张军 | 申请(专利权)人: | 深微光电科技(深圳)有限公司 |
主分类号: | G01M11/00 | 分类号: | G01M11/00 |
代理公司: | 深圳市科冠知识产权代理有限公司 44355 | 代理人: | 孔丽霞 |
地址: | 518000 广东省深圳市市南山区粤海街道*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 lcos 技术 用于 aoi 检测 领域 低成本 结构 | ||
1.一种基于LCOS技术的用于AOI检测领域的高亮低成本光路结构,其特征在于,包括照明光路、匀光光路、偏振片组件、LCOS芯片和镜头模组;所述照明光路包括分别对应G、B、R三种光源的第一发光源、第二发光源、第三发光源,以及对三种光源进行合光的合光组件;所述匀光光路包括对所述合光组件的出射光线进行会聚的会聚透镜组、对所述会聚透镜组的出射光线进行匀光的积分柱,和成像镜组;所述偏振片组件包括第一偏振片和第二偏振片,所述第一偏振片用于将所述匀光光路的出射光线转换成P光打在所述LCOS芯片的有效面上,所述第二偏振片用于将所述LCOS芯片的反射光线反射在所述镜头模组上;所述镜头模组包括接收所述第二偏振片的反射光线的第三偏振片和镜头。
2.根据权利要求1所述的基于LCOS技术的用于AOI检测领域的高亮低成本光路结构,其特征在于,所述镜头为沙姆镜头,所述LCOS芯片的有效面所在平面、所述沙姆镜头的垂线和所述沙姆镜头的投影面的相对角度满足沙姆定律。
3.根据权利要求1所述的基于LCOS技术的用于AOI检测领域的高亮低成本光路结构,其特征在于,所述第二偏振片与所述第三偏振片的偏转方向成90度。
4.根据权利要求1所述的基于LCOS技术的用于AOI检测领域的高亮低成本光路结构,其特征在于,所述第三偏振片在所述镜头模组上可旋转设置。
5.根据权利要求1-4任一所述的基于LCOS技术的用于AOI检测领域的高亮低成本光路结构,其特征在于,所述第一偏振片与所述LCOS芯片的有效面正对设置,所述第二偏振片位于所述第一偏振片和所述LCOS芯片之间;所述第一偏振片与所述第二偏振片偏振方向相同,所述第二偏振片朝向所述第一偏振片的一侧表面为透射面,所述第二偏振片朝向所述LCOS芯片的一侧表面为反射面。
6.根据权利要求1-4任一所述的基于LCOS技术的用于AOI检测领域的高亮低成本光路结构,其特征在于,所述照明光路还包括对应BP光源的第四发光源,所述第四发光源为蓝光泵浦光源;所述合光组件对所述第一发光源、所述第二发光源、所述第三发光源和所述第四发光源发出光线合光。
7.根据权利要求6所述的基于LCOS技术的用于AOI检测领域的高亮低成本光路结构,其特征在于,所述合光组件包括四个分别对应所述第一发光源、所述第二发光源、所述第三发光源和所述第四发光源的准直透镜组;所述合光组件还包括将所述第四发光源发出的经准直后的光线反射至所述第一发光源的有效发光面的滤光片、将所述第二发光源发出的经准直后的光线与所述第一发光源发出的经准直后的光线合光的第一合光片,和将所述第一合光片的出射光线与所述第三发光源发出的经准直后的光线合光的第二合光片;所述滤光片和所述第一合光片上均设置有透绿光反蓝光的镀层;所述第二合光片上设置有透蓝光绿光反红光的镀层。
8.根据权利要求7所述的基于LCOS技术的用于AOI检测领域的高亮低成本光路结构,其特征在于,所述滤光片和所述第一合光片之间设置有对所述滤光片的出射光线收敛的第一中继镜;所述第一合光片和所述第二合光片之间设置有对所述第一合光片的出射光线收敛的第二中继镜。
9.根据权利要求7所述的基于LCOS技术的用于AOI检测领域的高亮低成本光路结构,其特征在于,所述第二发光源、所述第三发光源和所述第四发光源的出射光线均与所述第一发光源的出射光线垂直。
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