[实用新型]一种低温低压化学气相沉积反应腔

说明书

本实用新型公开了一种低温低压化学气相沉积反应腔，包括顶盖、固定底板和主体槽，所述主体槽的顶端设置有顶盖，所述主体槽的底端安装有固定底板，所述第一反应腔与第二反应腔内部的一侧设置有密封结构。本实用新型通过将工作槽先进行固定，然后将伸缩杆与支撑柱相互连接固定，紧接着把拉伸杆进行拉伸，让伸缩杆先做横向运动，紧接着让滑动块在滑轨的内部做竖向滑动，由于工作槽的内部设置有多个限位块，因此在调节伸缩杆的过程中，可以使得伸缩杆的末端从限位块的夹缝中脱离，以至于让伸缩杆的纵向距离发生改变，从而使得整体的竖向距离可以进行伸缩调节，提高了该装置整体的适用性，使其可以适用于大多数的工作环境。

技术领域

本实用新型涉及反应腔技术领域，具体为一种低温低压化学气相沉积反应腔。

背景技术

随着社会的不断发展，经济水平的不断提升，人们在各个领域也得到了充分的发展，以至于在工业发展的过程中，常常会运用到各种技术，因此为了更好的反应，常常会在低温低压下进行工作，因此人们研制出了专门的反应腔；

然而传统的此类装置在使用的过程中，也仍然存在着一些问题，例如其在使用的过程中，难以进行很好的伸缩调节，使得其整体的调节适用能力较差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种低温低压化学气相沉积反应腔，以解决上述背景技术中提出装置伸缩调节能力差的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种低温低压化学气相沉积反应腔，包括顶盖、固定底板和主体槽，所述主体槽的顶端设置有顶盖，且顶盖的内部设置有密封盖，所述主体槽的底端安装有固定底板，且固定底板的中间位置处固定有支撑柱，且支撑柱的内部设置有伸缩结构，所述伸缩结构包括工作槽、限位块、伸缩杆、滑轨、拉伸杆和滑动块，所述工作槽的底端与支撑柱的顶端相互安装，所述工作槽内部的一侧固定有限位块，所述工作槽内部的中间位置处设置有伸缩杆，所述伸缩杆的另一侧固定有拉伸杆，且拉伸杆的内部设置有滑动块，所述工作槽内部的另一侧安装有滑轨，所述主体槽内部的一侧固定有第一反应腔，所述主体槽内部的另一侧固定有第二反应腔，且第二反应腔与第一反应腔内部之间设置有加强结构，所述第一反应腔与第二反应腔内部的一侧设置有密封结构。

优选的，所述加强结构包括加强槽、弹性垫层、支撑杆、固定柱、缓冲腔、连接轴和缓冲弹簧，所述加强槽的外侧壁与主体槽内部的中间位置处固定连接，所述加强槽内部的两侧均设置有弹性垫层，所述加强槽内部的中间位置处固定有固定柱，且固定柱的一侧固定有支撑杆，所述固定柱的另一侧安装有缓冲腔，且缓冲腔内部的一侧设置有连接轴，所述连接轴的一侧设置有缓冲弹簧。

优选的，所述固定柱关于加强槽的垂直中轴线呈对称分布，所述连接轴在缓冲腔内部的一侧呈等间距排列。

优选的，所述弹性垫层关于加强槽的垂直中轴线呈对称分布，所述支撑杆在弹性垫层的一侧呈等间距排列。

优选的，所述密封结构包括密封腔、复位弹簧和密封圈，所述密封腔的外侧壁嵌于第一反应腔和第二反应腔的内部，所述密封腔的内部设置有复位弹簧，所述密封腔的内侧壁安装有密封圈。

优选的，所述复位弹簧关于密封腔的圆心呈环形分布，所述密封圈的内径小于密封腔的内径。

优选的，所述限位块在工作槽内部的一侧呈等间距排列，所述滑动块与滑轨内部之间形成滑动结构。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该种低温低压化学气相沉积反应腔不仅提高了该装置的伸缩调节能力，也同时提高了该装置的密封弹性能力和整体强度；