[实用新型]光刻胶过滤芯的储存装置

说明书

本实用新型公开一种光刻胶过滤芯的储存装置，包括过滤芯组件、存储液通入组件及废液收集组件，所述过滤芯组件包括囊式过滤芯、排气球阀、进液球阀和出液球阀，所述囊式过滤芯上开设有排气口、进液口和出液口，所述排气球阀罩设于所述排气口上，所述进液球阀罩设于所述进液口上，所述出液球阀罩设于所述出液口上。本实用新型为一种光刻胶过滤芯的储存装置，可以暂时存储光刻胶囊式过滤芯，并且将囊式过滤芯与滤芯液存储桶连通，使得滤芯液可以充满整个过滤芯，保证了过滤芯的过滤功能，在下一次需要使用时方便取出，而不需要每次都更换新的滤芯，降低了成本损耗，提高了产品的竞争力。

技术领域

本实用新型涉及光刻技术领域，特别是涉及一种光刻胶过滤芯的储存装置。

背景技术

随着光刻技术在电子制造业不断普及，人们不断通过降低光刻图案关键尺寸宽度，来制造精度更高的电子产品。而光刻技术中使用到的光刻胶的洁净度则随着图案尺寸降低而变得越来越重要。在常规的光刻技术中，光刻胶通常通过加压经过涂胶管路、定量泵、暂存容器以及光刻胶过滤芯最终到达涂胶刀头。光刻胶过滤芯作为光刻胶从存储容器到产品表面的重要过滤屏障，对其洁净度起到至关重要的作用。

目前，常常需要通过紫外线将多组图形从掩膜版转移到基片上。而不同的生产要求会选择不同种类的光刻胶；不同的生产工序会要求选择不同的光刻胶；不同的产品要求，也会导致选取不同的光刻胶。因此，为了防止光刻胶成分之间的交叉污染，通常将过滤芯与光刻胶一一对应，不会使用同一个过滤芯对不同种类、不同配方或者不同厂家的光刻胶进行过滤。而换下的过滤芯，则由于难以保存，大多会直接废弃，从而造成了浪费。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有技术中的不足之处，提供一种可以将换下的过滤芯存储起来，并保持其过滤能力以及减少成本损耗的光刻胶过滤芯的储存装置。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：

一种光刻胶过滤芯的储存装置，包括：

过滤芯组件，所述过滤芯组件包括囊式过滤芯、排气球阀、进液球阀和出液球阀，所述囊式过滤芯上开设有排气口、进液口和出液口，所述排气球阀罩设于所述排气口上，所述进液球阀罩设于所述进液口上，所述出液球阀罩设于所述出液口上；

存储液通入组件，所述存储液通入组件包括滤芯液存储桶、抽液泵、三通球阀及惰性气体输出器，所述滤芯液存储桶的输出口与所述抽液泵的进液端连通，所述抽液泵的出液端与所述三通球阀的第一端连通，所述三通球阀的第二端与所述惰性气体输出器连通，所述三通球阀的第三端与所述进液球阀连通；及

废液收集组件，所述废液收集组件包括废液存储桶、收气管及收液管，所述废液存储桶通过收气管与所述排气球阀连通，所述废液存储桶还通过收液管与所述出液球阀连通。

在其中一个实施例中，所述储存装置还包括遮光柜，所述遮光柜内开设有遮光腔体，所述过滤芯组件、所述存储液通入组件和所述废液收集组件分别容置于所述遮光腔体内。

在其中一个实施例中，所述惰性气体输出器中的气体为氮气、氦气、氖气、氩气或氪气。

在其中一个实施例中，所述囊式过滤芯上设置有排气螺帽，并且所述排气螺帽与所述排气球阀连通。

在其中一个实施例中，所述囊式过滤芯上设置有进液螺帽，并且所述进液螺帽与所述进液球阀连通。

在其中一个实施例中，所述囊式过滤芯上设置有出液螺帽，并且所述出液螺帽与所述出液球阀连通。

在其中一个实施例中，所述存储液通入组件还包括滑轮组，所述滑轮组设置于所述滤芯液存储桶的底部。

在其中一个实施例中，所述废液收集组件还包括移动轮组，所述移动轮组设置于所述废液存储桶的底部。