[实用新型]一种真空镀膜的自转式工架机构有效
申请号: | 202022074342.1 | 申请日: | 2020-09-21 |
公开(公告)号: | CN213113490U | 公开(公告)日: | 2021-05-04 |
发明(设计)人: | 卢林松 | 申请(专利权)人: | 苏州双石真空镀膜有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C16/458 |
代理公司: | 苏州欣达共创专利代理事务所(普通合伙) 32405 | 代理人: | 刘盼盼 |
地址: | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空镀膜 自转 工架 机构 | ||
1.一种真空镀膜的自转式工架机构,其特征在于,包括:自转工件架、从动齿圈、公转盘、行星轮一、行星轮二以及太阳轮,从动齿轮盘上表面设有公转盘,所述从动齿轮盘右侧安装有主动齿轮盘,所述公转盘上表面中心处安装有轴承三,所述轴承三内部安装有传动轴,所述传动轴下端通过轴承三安装在从动齿轮盘、公转盘内部,所述传动轴上端设有太阳轮,所述公转盘上表面安装有行星轮支架,所述行星轮支架上端设有行星轮二,转轴通过轴承二安装在公转盘上表面,所述转轴下端表面设有行星轮一,所述行星轮二通过齿轮牙与太阳轮连接,所述行星轮二通过齿轮牙与从动齿圈连接,所述行星轮一通过齿轮牙与从动齿圈连接,所述从动齿圈安装在行星轮一、行星轮二之间,所述行星轮一通过行星轮二和从动齿圈与太阳轮连接,所述公转盘上表面安装有自转工件架,所述自转工件架由转轴、工件夹具、托板、轴承二以及行星轮一构成,所述托板上表面安装有工件夹具,所述转轴表面设有托板,所述转轴上端安装在顶板下表面,所述顶板上表面中心处焊接有连接轴,所述连接轴上端安装有轴承一。
2.如权利要求1所述的一种真空镀膜的自转式工架机构,其特征在于:所述自转工件架由转轴、工件夹具、托板、轴承二以及行星轮一构成,所述自转工件架设有十七个。
3.如权利要求1所述的一种真空镀膜的自转式工架机构,其特征在于:所述从动齿圈为一种圆环形的齿轮圈,所述从动齿圈外表面滚有齿轮牙,所述从动齿圈内表面滚有齿轮牙,从动齿圈外表面齿轮牙与内表面的齿轮牙大小相同。
4.如权利要求1所述的一种真空镀膜的自转式工架机构,其特征在于:所述公转盘为一种金属圆盘,所述公转盘上表面开设有十七个圆形凹槽,每个圆形凹槽内部安装有一个轴承二,圆形凹槽成环形分布的公转盘的上表面。
5.如权利要求1所述的一种真空镀膜的自转式工架机构,其特征在于:所述行星轮一为一种小型齿轮,所述行星轮一设有十七个,所述行星轮一表面滚有齿轮牙,行星轮一的齿轮牙与从动齿圈外表面齿轮牙大小相同。
6.如权利要求1所述的一种真空镀膜的自转式工架机构,其特征在于:所述行星轮二为一种中型齿轮,所述行星轮二设有四个,所述行星轮二表面滚有齿轮牙,所述行星轮二表面的齿轮牙与从动齿圈内表面齿轮牙大小相同。
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