[实用新型]一种基于压电效应的磁场传感器有效

专利信息
申请号: 202022075631.3 申请日: 2020-09-21
公开(公告)号: CN212808588U 公开(公告)日: 2021-03-26
发明(设计)人: 汪升森;张赟 申请(专利权)人: 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司
主分类号: G01R33/06 分类号: G01R33/06;G01R3/00
代理公司: 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 代理人: 潘剑敏
地址: 264006 山东省烟台市经济*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 压电效应 磁场 传感器
【说明书】:

实用新型公开了一种基于压电效应的磁场传感器,包括上弹性梁和下弹性梁,所述上弹性梁和下弹性梁两端固定连接在一起,所述上弹性梁和下弹性梁中间的弯折槽之间内设有压电材料,所述压电材料的上端面镀设有上电极面,所述压电材料的下端面镀设有下电极面,所述压电材料的上电极面和下电极面上均贴设有柔性电极;本实用新型所提供的基于压电效应的磁电传感器,不需要额外添加偏置磁场,器件更加简便且降低了能耗,有利于大量使用。传统压电传感器压电材料的激励以应变为媒介,由于材料本身存在脆性,使用寿命不长,本实用新型压电材料的激励以应力为媒介,压电材料工作在压缩模式,使用寿命大大延长。

技术领域

本实用新型涉及传感器技术领域,具体是一种基于压电效应的磁场传感器。

背景技术

通常磁场传感器检测原理主要是利用电磁感应效应、霍尔效应、磁阻效应等,按电磁转换机理的不同,磁电式传感器可分为磁电感应式传感器,霍尔式传感器,磁阻效应传感器等。目前应用较多的是霍尔磁电传感器,但霍尔元件低灵敏度,需要使用磁芯辅助聚磁,造成传感模块体积较大;此外,利用磁致伸缩材料的磁电传感器,需外加直流偏置磁场,不但增加了能耗且容易造成系统发热问题,不利于大规模的使用。

为此,我们提出一种基于压电效应的磁场传感器。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种基于压电效应的磁场传感器,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:

一种基于压电效应的磁场传感器,包括上弹性梁和下弹性梁,所述上弹性梁和下弹性梁两端固定连接在一起,所述上弹性梁和下弹性梁中间的弯折槽之间内设有压电材料,所述压电材料的上端面镀设有上电极面,所述压电材料的下端面镀设有下电极面,所述压电材料的上电极面和下电极面上均贴设有柔性电极,两个所述柔性电极由上弹性梁和下弹性梁夹紧,所述上弹性梁和下弹性梁左端还焊接有固定块,所述上弹性梁的上端面右端还设有铁氧磁性体。

作为本实用新型进一步的方案:所述压电材料为PZT材料制成的长方体薄片,且压电材料的上表面和下表面均采用电镀金作为电极材料。

作为本实用新型再进一步的方案:所述柔性电极的基底材料采用聚二甲基硅氧烷,电极面采用金为导电材料。

作为本实用新型再进一步的方案:所述上弹性梁和下弹性梁的形状相同,且上弹性梁和下弹性梁均为铜材料制成的带弯折槽的薄片。

作为本实用新型再进一步的方案:所述铁氧磁性体的材料为钇铁石榴石。

作为本实用新型再进一步的方案:所述固定块为铁块。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

本实用新型所提供的基于压电效应的磁电传感器,不需要额外添加偏置磁场,器件更加简便且降低了能耗,有利于大量使用。传统压电传感器压电材料的激励以应变为媒介,由于材料本身存在脆性,使用寿命不长,本实用新型压电材料的激励以应力为媒介,压电材料工作在压缩模式,使用寿命大大延长。

附图说明

图1为一种基于压电效应的磁场传感器的结构示意图。

图2为一种基于压电效应的磁场传感器中的俯视结构示意图。

图3为一种基于压电效应的磁场传感器中的左视结构示意图。

图4为一种基于压电效应的磁场传感器中柔性电极的主视结构示意图。

图5为一种基于压电效应的磁场传感器中柔性电极的俯视结构示意图。

其中:1压电材料、2柔性电极、3上弹性梁、4铁氧磁性体、5固定块、6下弹性梁。

具体实施方式

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