[实用新型]真空置换室装置

权利要求书

1.一种真空置换室装置，其特征在于：包括腔体和密封门，所述密封门将所述腔体隔成第一腔体和第二腔体，所述第一腔体的入气口与进气管连通，所述第二腔体的入气口与所述第一腔体的出气口连通，所述第二腔体的出气口与真空泵连通，

所述第二腔体的入气口与所述第一腔体的出气口的连通路径上设有第一阀门，所述第二腔体的出气口与所述真空泵的连通路径上设有第二阀门，

所述第二腔体上设有压力表。

2.根据权利要求1所述的真空置换室装置，其特征在于：所述第一腔体的入气口与所述进气管的连通路径上设有第一流量计和第一手动球阀。

3.根据权利要求1所述的真空置换室装置，其特征在于：所述第一腔体的出气口还与排气管连通，所述第一腔体的出气口与所述排气管的连通路径上设有第三阀门。

4.根据权利要求1所述的真空置换室装置，其特征在于：所述第二腔体的出气口还与排气管连通，所述第二腔体的出气口与排气管的连通路径上设有第四阀门。

5.根据权利要求1所述的真空置换室装置，其特征在于：所述第二腔体的出气口与所述第一腔体的入气口的连通路径上设有一条并联通路，所述并联通路上设有手动球阀。

6.根据权利要求1所述的真空置换室装置，其特征在于：所述第二腔体有多个出气口，多个所述出气口汇聚后出气。

7.根据权利要求1所述的真空置换室装置，其特征在于：所述密封门包括第一密封门和第二密封门，所述第一腔体和所述第二腔体之间设有第三腔体，所述第三腔体与所述第一腔体间通过所述第一密封门隔开，所述第三腔体和所述第二腔体间通过所述第二密封门隔开，所述第三腔体的入气口与所述进气管连通，所述第三腔体的出气口与所述第二腔体的入气口连通，所述第三腔体的出气口与所述第二腔体的入气口的连通路径上设有第五阀门。

8.根据权利要求7所述的真空置换室装置，其特征在于：所述第三腔体的入气口与所述进气管的连通路径上设有第二流量计和第三手动球阀。

9.根据权利要求7所述的真空置换室装置，其特征在于：所述第三腔体的出气口还与排气管连通，所述第三腔体的出气口与排气管的连通路径上设有第六阀门。

10.根据权利要求7所述的真空置换室装置，其特征在于：所述第三腔体有多个出气口，多个所述出气口汇聚后出气。