[实用新型]一种双基片夹紧机构

权利要求书

1.一种双基片夹紧机构，包括夹紧固定板(105)、第一活动夹紧板(109)和第二活动夹紧板(110)，其特征在于，所述夹紧固定板(105)固定连接第一夹紧气缸(103)，所述第一夹紧气缸(103)上设有第一气缸连接头(104)，所述第一气缸连接头(104)固定连接第一活动夹紧板(109)，所述第一活动夹紧板(109)固定连接第一导向杆(107)，所述第一导向杆(107)活动连接第一直线轴承(108)，所述第一直线轴承(108)固定连接夹紧固定板(105)，所述夹紧固定板(105)固定连接第一气缸缓冲器(106)，所述夹紧固定板(105)固定连接夹紧块安装板(120)和第一气缸限位块(121)，所述夹紧块安装板(120)固定连接第二固定夹紧块(119)，所述第一活动夹紧板(109)固定连接夹紧块安装板(120)，所述夹紧块安装板(120)固定连接第一固定夹紧块(117)和第一活动夹紧块(118)，所述第一活动夹紧板(109)固定连接第二气缸连接头(113)，所述第二气缸连接头(113)设于第二夹紧气缸(114)上，所述第二夹紧气缸(114)固定连接第二活动夹紧板(110)，所述第二活动夹紧板(110)固定连接第二导向杆(111)，所述第二导向杆(111)活动连接第二直线轴承(112)，所述第二直线轴承(112)固定连接第一活动夹紧板(109)，所述第二活动夹紧板(110)固定连接第二气缸缓冲器(115)、第二气缸限位块(116)和夹紧块安装板(120)，所述夹紧块安装板(120)固定连接第一活动夹紧块(118)。

2.根据权利要求1所述的一种双基片夹紧机构，其特征在于，所述夹紧固定板(105)固定连接安装竖板(102)，所述安装竖板(102)固定连接安装底板(101)。

3.根据权利要求2所述的一种双基片夹紧机构，其特征在于，所述安装底板(101)固定连接移动模组。

4.根据权利要求1所述的一种双基片夹紧机构，其特征在于，所述夹紧固定板(105)和第一活动夹紧板(109)之间设有第一钢基片(201)。

5.根据权利要求1所述的一种双基片夹紧机构，其特征在于，所述第一活动夹紧板(109)和第二活动夹紧板(110)之间设有第二钢基片(202)。