[实用新型]硅棒研磨机

权利要求书

1.一种硅棒研磨机，其特征在于，包括：

机座，具有硅棒加工平台；所述硅棒加工平台上设有第一加工区位和第二加工区位；

硅棒转运装置，设于机座上，包括转运主体以及设于转运主体上的多个硅棒夹具和换位机构，所述换位机构用于驱动多个硅棒夹具及其所夹持的硅棒在第一加工区位和第二加工区位上转换位置；其中，所述多个硅棒夹具分别对应的夹持中心线位于同一水平高度内；

粗磨装置，设于第一加工区位，用于对硅棒转运装置中位于第一加工区位处的硅棒夹具所夹持的硅棒进行粗磨作业；以及

精磨装置，设于第二加工区位，用于对硅棒转运装置中位于第二加工区位处的硅棒夹具所夹持的硅棒进行精磨作业。

2.根据权利要求1所述的硅棒研磨机，其特征在于，所述硅棒转运装置设于硅棒加工平台的居中区域，所述换位机构包括换位转轴，驱动所述换位转轴转动预设角度以带动多个硅棒夹具作转换动作。

3.根据权利要求2所述的硅棒研磨机，其特征在于，所述换位机构还包括用于驱动所述换位转轴转动的换位驱动单元，所述换位驱动单元包括：

主动齿轮，轴接于驱动源；以及

从动齿轮，啮合于所述主动齿轮且连接于所述换位转轴。

4.根据权利要求1所述的硅棒研磨机，其特征在于，所述硅棒夹具包括：

一对夹臂，设于所述转运主体上，用于夹持硅棒的两个端面；其中，由所述一对夹臂夹持的硅棒的轴心线与所述一对夹臂的夹持中心线一致；以及

夹臂驱动机构，用于驱动一对夹臂中的至少一个夹臂沿水平线移动以调节所述一对夹臂之间的夹持间距。

5.根据权利要求4所述的硅棒研磨机，其特征在于，所述一对夹臂中的任一个夹臂设有夹持部及夹持部转动机构，所述夹持部转动机构用于驱动所述夹持部及所夹持的硅棒转动。

6.根据权利要求4所述的硅棒研磨机，其特征在于，所述夹臂驱动机构包括：

开合导轨，沿水平线设于所述转运主体上，用于设置一对夹臂；以及

开合驱动单元，用于驱动所述一对夹臂中的至少一个夹臂沿所述开合导轨移动。

7.根据权利要求1所述的硅棒研磨机，其特征在于，所述粗磨装置包括：

粗磨安装结构，设于机座上且对应于第一加工区位；

至少一对粗磨磨具，设于所述粗磨安装结构上；其中，所述至少一对粗磨磨具的研磨面平行且相对设置；

粗磨磨具进退机构，用于驱动所述至少一对粗磨磨具中的至少一个粗磨磨具沿重垂线方向移动，其中，所述重垂线方向垂直于所述研磨面；以及

粗磨磨具行进机构，用于驱动所述至少一对粗磨磨具沿水平线移动。

8.根据权利要求7所述的硅棒研磨机，其特征在于，所述粗磨磨具进退机构包括：

进退导轨，沿重垂线方向设于所述粗磨安装结构，用于设置所述至少一对粗磨磨具；以及

进退驱动单元，用于驱动所述至少一对粗磨磨具中的至少一个粗磨磨具沿所述进退导轨移动。

9.根据权利要求7所述的硅棒研磨机，其特征在于，所述粗磨磨具行进机构包括：

行进导轨，沿水平线设于所述粗磨安装结构上，用于设置所述至少一对粗磨磨具；以及

行进驱动单元，用于驱动所述至少一对粗磨磨具沿所述行进导轨移动。

10.根据权利要求7所述的硅棒研磨机，其特征在于，所述粗磨安装结构借由一位移机构设于所述机座，其中，所述位移机构包括：

第一直线导轨，沿所述第一加工区位的宽度方向设于所述机座，其中，所述第一加工区位的宽度方向正交于所述粗磨磨具行进移动的水平线方向；

驱动源，驱动所述粗磨安装结构沿第一直线导轨移动。