[实用新型]一种压电微泵的错层支承结构及气体控制装置

说明书

本实用新型属于流体输送设备技术领域，具体涉及一种压电微泵的错层支承结构及气体控制装置。一种压电微泵的错层支承结构，包括：压电微泵，所述压电微泵包括共振板、压电振子和电极组件，所述共振板和压电振子依次层叠设置，所述压电振子的远离所述共振板的一侧连接有电极组件；支承板，所述共振板的远离压电振子的一侧被所述支承板支承，所述共振板与所述支承板之间存有间隙以形成进气腔，所述支承板对所述压电微泵进行支承和约束。一种气体控制装置包括：一种压电微泵的错层支承结构和壳体。解决了现有技术中的压电微泵需通过周向延伸的连接部连接至外围的支承部上，支承部被层压固定，大大加大了压电泵的体积的技术问题。

技术领域

本实用新型属于流体输送设备技术领域，具体涉及一种压电微泵的错层支承结构及气体控制装置。

背景技术

微型流体泵在医药生物、精细化工、航空航天、微机电系统等领域有着广泛的应用需求。现今随着应用目标的电子产品通常都具有小型化的趋势，这也要求微型流体泵在保证其输出能力(输出压力和输出流量)的同时更加小型化或是在不大型化的前提下提高其输出能力。

目前的气体微泵主要有利用电机凸轮机构驱动的电磁隔膜泵、利用压电振子驱动的压电隔膜泵以及利用挤压膜效应的微泵。压电隔膜泵是向压电元件施加交变电压使隔膜弯曲变形的隔膜泵，其具有结构简单、轻薄、且耗电量低等优点。

如公开号为CN101490419B的专利文件公开了一种压电泵，并具体公开了：膜片上形成多个圆弧状狭缝，膜片圆形区域中央粘接圆形压电元件，相邻的狭缝之间形成悬臂梁，悬臂梁将压电元件粘接区和外框连接在一起，压电元件粘接区产生弯曲形变。公开号为CN102597520B的专利文件公开了一种流体泵，并具体公开了：振动板和振动支承框之间为环状梁，环状梁通过两个连接部分别连接到振动板和振动支承框上，振动板粘接压电陶瓷，振动板产生弯曲形变。上述两种技术方案中的压电振子和/或与之相对的振动部件使用的是周向支承的，存在外框或者支承框分布在产生弯曲形变区域的外围，近似同平面分布，增大了外围尺寸，直接增大了压电泵体积。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中的压电微泵需通过周向延伸的连接部连接至外围的支承部上，支承部被层压固定，大大加大了压电泵的体积的技术问题，本实用新型提供了一种压电微泵的错层支承结构及气体控制装置。本实用新型的技术方案如下：

一种压电微泵的错层支承结构，包括：压电微泵，所述压电微泵包括共振板、压电振子和电极组件，所述共振板和压电振子依次层叠设置，所述压电振子的远离所述共振板的一侧连接有电极组件；支承板，所述共振板的远离压电振子的一侧被所述支承板支承，所述共振板与所述支承板之间存有间隙以形成进气腔，所述支承板对所述压电微泵进行支承和约束。

本实用新型的压电微泵的错层支承结构，通过设置压电微泵的共振板被支承板支承，相较于现有技术中的压电微泵具有周向延伸的连接部及被层压固定的支承部，本实用新型的压电微泵支承结构，大大减小甚至省掉了连接部和支承部的结构，缩小了整体结构的周向尺寸，有利于压电泵的微型化。

根据本实用新型的一个实施例，所述共振板通过连接部与压电振子连接，所述连接部为弹性连接部，所述连接部与所述压电振子的任意位置连接；或者，所述连接部为刚性连接部，所述连接部与所述压电振子的波节或波节附近无振动或振动很小的位置连接。

根据本实用新型的一个实施例，所述共振板的远离所述压电振子的面上形成有凸起，所述连接部和/或所述压电振子上形成有出气通道，所述共振板上设置有进气孔，所述进气孔与所述凸起内周的凹陷部连通。

根据本实用新型的一个实施例，所述出气通道包括设置在所述连接部上的第一出气孔和/或设置在所述连接部与所述压电振子连接的连接面上的出气槽和/或所述连接面附近的第二出气孔。