[实用新型]一种用于超高真空溅射镀膜机的高效冷却装置

权利要求书

1.一种用于超高真空溅射镀膜机的高效冷却装置，包括箱体(1)，其特征在于，所述箱体(1)内底部固定连接有四个支撑杆(11)，四个所述支撑杆(11)远离箱体(1)内底部的一端共同固定连接有放置板(12)，所述箱体(1)上设有冷却机构，所述冷却机构包括固定连接在箱体(1)内底部的水箱(2)与水泵(9)，所述箱体(1)内壁固定连接有水冷管(4)与换热器(14)，所述水冷管(4)与换热器(14)连通，所述水箱(2)通过第一连接管(3)与水冷管(4)连通，所述水泵(9)的进水端通过第三连接管(16)与水箱(2)连通，所述水泵(9)的出水端通过第二连接管(15)与换热器(14)连通，所述箱体(1)上设有辅助散热机构。

2.根据权利要求1所述的一种用于超高真空溅射镀膜机的高效冷却装置，其特征在于，所述辅助散热机构包括固定连接在水箱(2)上壁的散热风扇(5)，所述散热风扇(5)位于放置板(12)的正下方，所述放置板(12)侧壁等间距贯穿设有多个通孔(13)，所述箱体(1)内顶部固定连接有导风罩(7)，所述导风罩(7)位于放置板(12)的正上方。

3.根据权利要求2所述的一种用于超高真空溅射镀膜机的高效冷却装置，其特征在于，所述散热风扇(5)上壁固定连接有防护网罩(6)，所述防护网罩(6)由金属材料制成。

4.根据权利要求2所述的一种用于超高真空溅射镀膜机的高效冷却装置，其特征在于，所述箱体(1)侧壁贯穿设有开口，所述开口内壁转动连接有密封箱门(8)。

5.根据权利要求2所述的一种用于超高真空溅射镀膜机的高效冷却装置，其特征在于，所述水箱(2)上壁连通设有加水管(10)，所述加水管(10)上设有管盖。

6.根据权利要求1所述的一种用于超高真空溅射镀膜机的高效冷却装置，其特征在于，四个所述支撑杆(11)分别位于放置板(12)下壁的四个角，四个所述支撑杆(11)均焊接在放置板(12)下壁。