[实用新型]立体密封结构及真空设备

说明书

本实用新型公开了一种立体密封结构及真空设备，其中立体密封结构包括：腔体、盖板，所述腔体上设置有上端开口和侧向开口；所述盖板包括能够盖装在所述上端开口上的端盖部及能够盖装在所述侧向开口上的侧盖部。可通过将移动装置固定侧盖部，将盖板侧向的移出，能够方便真空腔体的打开或封闭，解决了大型真空设备在安装及维护时吊装空间不够的问题。

技术领域

本实用新型涉及真空设备领域，特别涉及一种立体密封结构及真空设备。

背景技术

在真空设备行业中，真空腔体的密封面一般是平面结构并且真空腔体一般是比较大型的设备，一些在腔体顶面的密封盖板在设备拆装及维护时需要借助行车吊装。受限于车间的空间，有的大型真空设备腔体的高度可能离行车的距离比较近，无法实现吊装，拆装、维护较为的麻烦。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种立体密封结构，能够方便真空腔体的打开或封闭。

本实用新型还提出一种真空设备，能够方便的对真空腔室的盖板就行拆装，方便真空腔室的维护。

根据本实用新型的第一方面实施例的立体密封结构，包括：腔体、盖板，所述腔体上设置有上端开口和侧向开口；所述盖板包括能够盖装在所述上端开口上的端盖部及能够盖装在所述侧向开口上的侧盖部。

根据本实用新型实施例的立体密封结构，至少具有如下有益效果：可通过将移动装置固定侧盖部，将盖板侧向的移出，能够方便真空腔体的打开或封闭，解决了大型真空设备在安装及维护时吊装空间不够的问题。

并且，通过设置侧向开口也可让维护人员在上部空间不足时在侧向进行维护组装，方便设备的维护、组装。

在本实用新型的一些实施例中，所述上端开口和侧向开口相互连接形成“L”型的开口结构，所述盖板与所述开口结构对应，也是呈对应的“L”型结构，可形成较大的开口结构，方便进行维护。

在本实用新型的一些实施例中，所述盖板为一体式结构，可通过铸造、压铸、锻压等方式一体成型，结构强度好。

在本实用新型的一些实施例中，所述开口结构的边缘设置有安装面，所述盖板紧贴安装在所述安装面上，形成面密封，密封效果好，且生产加工方便。

在本实用新型的一些实施例中，所述盖板通过螺钉紧贴安装在所述安装面上，使得二者连接紧密可靠。

在本实用新型的一些实施例中，所述盖板与所述安装面之间设置有密封件，以提高密封性能。

在本实用新型的一些实施例中，所述安装面上环所述开口结构开设有凹槽，所述密封件能够部分装入所述凹槽内，以定位密封件，提高其可靠性。

在本实用新型的一些实施例中，所述盖板与所述凹槽对应的位置为平整面结构，使得盖板侧移时不会拖动密封件，减少密封件损坏、移位的情况发生，同时，在盖板装入时，减少了与密封件对位的步骤，提高组装的效率及密封效果。

在本实用新型的一些实施例中，所述开口结构的拐角处为圆角结构，盖板与之对应，可减少盖板上的应力集中，提高结构强度，同时圆角结构的密封效果比直角更好，更容易成型，加工精度相对较低。

且设置为圆角结构也可方便密封件的设置，使得密封件不会被大角度的弯折，以保持密封件的良好密封性能，保持密封效果。

在本实用新型的一些实施例中，所述上端开口和侧向开口为非连贯结构时，也可在所述上端开口与所述端盖部之间、所述侧向开口与所述侧盖部之间设置有密封结构，如密封圈、密封垫等，以保持较好的密封性能。

根据本实用新型的第二方面实施例的真空设备，包括本实用新型上述第一方面任一实施例的立体密封结构。