[实用新型]一种重力传感器

权利要求书

1.一种重力传感器，其特征在于，包括：

下盖板，所述下盖板的第一表面设置有第一凹槽，所述第一凹槽的深度小于所述下盖板的厚度；

微机电微机电压力检测模块，位于所述第一凹槽内；

上盖板，覆盖所述下盖板且包围所述下盖板的侧面，其中，所述上盖板包括一体成型的重力形变部以及包围所述重力形变部的连接部，所述重力形变部和所述下盖板的第一表面围成密闭腔体，所述连接部包围所述下盖板的侧面，所述密闭腔体在所述下盖板的投影覆盖所述微机电压力检测模块在所述下盖板的投影；

形变传递层，所述形变传递层位于所述密闭腔体内，用于将所述重力形变部产生的形变传递给所述微机电压力检测模块。

2.根据权利要求1所述的重力传感器，其特征在于，还包括第一密封环，位于所述上盖板的连接部和所述下盖板的侧面之间，用于密封所述上盖板和所述下盖板。

3.根据权利要求2所述的重力传感器，其特征在于，所述下盖板包括检测区和包围所述检测区的支撑区，所述密闭腔体在所述下盖板的投影位于所述检测区，所述下盖板的第一表面设置有环形台阶，所述环形台阶位于所述支撑区；

所述重力形变部的边缘区域位于所述环形台阶上，所述重力形变部的中间区域和所述下盖板的第一表面围成所述密闭腔体。

4.根据权利要求1所述的重力传感器，其特征在于，所述重力形变部邻近所述密闭腔体一侧的表面设置有第二凹槽，所述第二凹槽的底面、侧面以及所述下盖板之间构成所述密闭腔体。

5.根据权利要求1所述的重力传感器，其特征在于，所述重力形变部远离所述密闭腔体一侧的表面由倾斜环形表面和平面围成，所述倾斜环形表面与所述平面的夹角为钝角，所述重力形变部的高度大于所述连接部的高度，所述重力形变部远离所述密闭腔体一侧的平面用于支撑重力待检测样品。

6.根据权利要求1所述的重力传感器，其特征在于，所述微机电压力检测模块包括基板；

重力检测处理电路，所述重力检测处理电路位于所述基板的第一表面；

至少一个焊盘，位于所述基板与所述第一表面相对的第二表面，通过所述基板内部的线路与所述重力检测处理电路电连接。

7.根据权利要求6所述的重力传感器，其特征在于，所述重力检测处理电路包括位于所述基板第一表面的微机电压力检测芯片和信号处理芯片；

所述信号处理芯片通过导线与所述微机电压力检测芯片电连接。

8.根据权利要求6所述的重力传感器，其特征在于，所述微机电压力检测模块还包括柔性电路板，所述柔性电路板位于所述下盖板内部，延伸出所述下盖板，所述柔性电路板与所述焊盘电连接。

9.根据权利要求6所述的重力传感器，其特征在于，所述微机电压力检测模块还包括环形保护结构，位于所述基板的第一表面，包围所述重力检测处理电路。

10.根据权利要求9所述的重力传感器，其特征在于，还包括第二密封环，所述第二密封环位于所述环形保护结构和所述第一凹槽的侧面之间。