[实用新型]一种晶圆切割用切口定位机构有效
申请号: | 202022102717.0 | 申请日: | 2020-09-22 |
公开(公告)号: | CN213704060U | 公开(公告)日: | 2021-07-16 |
发明(设计)人: | 秦可勇;何彬 | 申请(专利权)人: | 江苏众晶半导体有限公司 |
主分类号: | B28D5/02 | 分类号: | B28D5/02;B28D7/04;B28D7/00 |
代理公司: | 上海塔科专利代理事务所(普通合伙) 31380 | 代理人: | 耿恩华 |
地址: | 214000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 切割 切口 定位 机构 | ||
1.一种晶圆切割用切口定位机构,其特征在于,包括装置底板(1),所述装置底板(1)的外侧设置有侧板(17)和顶板(7),所述装置底板(1)的顶部固定安装有自动旋转机(3),所述自动旋转机(3)的输出端固定安装有真空陶瓷吸盘(4),且真空陶瓷吸盘(4)的顶面与加工原件(2)相接触,所述侧板(17)的内侧设置有空槽(14),所述侧板(17)的内侧设置有电动伸缩杆(16),所述侧板(17)的侧面开设有调节槽(26),所述侧板(17)的外侧设置有调节块(11),所述调节块(11)的外壁固定连接有升降杆(15),所述升降杆(15)的外壁固定套接有与调节槽(26)相适配的滑块(13),且升降杆(15)的外壁与电动伸缩杆(16)的底端固定连接,所述调节块(11)的顶面开设有滑槽(18),所述调节块(11)的侧壁开设有卡槽(19),所述调节块(11)的内侧设置有移动块(20),所述移动块(20)的顶部固定安装有驱动电机(10),所述移动块(20)的底部固定连接有裁切刀头(12),所述移动块(20)的内壁活动套接有紧固螺栓(22),且调节块(11)的外壁设置有与紧固螺栓(22)规格相同的紧固螺母(21)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用切口定位机构,其特征在于,所述顶板(7)的内壁固定套接有螺纹环(9),所述螺纹环(9)的内壁螺纹套接有螺纹杆(6),所述螺纹杆(6)的底端通过轴承固定套接有压板(5),且压板(5)由弹性橡胶制作而成。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用切口定位机构,其特征在于,所述调节块(11)的顶面和底面均设置有滑槽(18),且调节块(11)的顶面开设有位于滑槽(18)外侧的刻度槽(25)。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用切口定位机构,其特征在于,所述调节块(11)设置在加工原件(2)的上方,且加工原件(2)的正中心与压板(5)和真空陶瓷吸盘(4)在同一竖直线上。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用切口定位机构,其特征在于,所述升降杆(15)的外端固定安装有位于侧板(17)外侧的挡盘(24)。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用切口定位机构,其特征在于,所述滑槽(18)和卡槽(19)为连通状态,且滑槽(18)和卡槽(19)的内壁均设置有橡胶垫层。
7.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用切口定位机构,其特征在于,所述装置底板(1)的顶面设置有位于自动旋转机(3)外侧的橡胶垫层。
8.根据权利要求2所述的一种晶圆切割用切口定位机构,其特征在于,所述螺纹杆(6)的顶端固定安装有旋钮(8),所述紧固螺栓(22)的外端固定套接有螺套(23),且旋钮(8)和螺套(23)的外壁均开设有防滑纹。
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